硅棒检验规程.doc

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1、硅棒检验作业指导书1工具要求1.1游标卡尺：检测硅棒直径1.2卷尺：用于测量硅棒长度1.3台秤：用于硅棒称重1.4油性记号笔：用于硅棒划线1.5直尺：用于硅棒划线1.6金刚石刻笔：用于刻写编号1.7SX1943B电阻率测试仪：用于测量硅棒纵向电阻率1.8PN型号分选仪：用于测量硅棒P/N型2环境要求2.1检验室环境整洁，室温23℃±2℃，相对湿度≤70%。3检验步骤3.1：检查棒料外观，注意棒料的直线度、S型、波浪型、有无收尾以及断棱3.2：用游标卡尺测量棒料直径范围（必须检测晶棒最大处和最小处的直径

2、）3.3：在棒体上记所测直径的最小值与最大值3.4：用油性记号笔和直尺分别在棒料头部直径合格处划线，在棒料尾部断棱返100mm且直径合格处划线，划出其棒料的有效长度段3.5：用SX1943B电阻率测试仪测量硅棒的纵向电阻率。3.6PN型号分选仪测量硅棒P/N型。3.7：用油性记号笔和直尺分别在棒料头部直径合格长度内划线，把硅棒分段。3.8：用金刚石刻笔在分断的晶体上刻上晶体编号。3.9：用卷尺测量棒料的总长、等晶长度、有效长度、直径小长度、位错长度、多晶长度并将相关数据写在棒体上在《单晶硅棒随工单》上

3、记录测量直径、棒料总重、棒料总长、晶线长度、有效长度、直径小长度、直径大长度、位错长度、多晶长度将填好的《单晶棒料检测记录单》登记到检验记录本上，然后放在它相对应的棒料上。4产品入库4.1办理硅棒入库手续5操作注意事项5.1：断棱返切的长度以相关规定为准5.2：所谓断棱处就是四根棱线最短的那根。在尾部断棱处划线返切时要确保所选的那根棱线为四根里面最短的那根5.3：用卷尺测量有效长度时，有效长度的测量值为线外值5.4：硅棒分段有效长度不能小于50㎜