单晶炉故障维修.doc

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1、单晶炉故障维修-----有问必答！开个贴！单晶炉故障，有问必答！希望各位多多支持！问题大家讨论！;大兵;大兵;大兵;大兵Dante2009-7-1821:37支持楼主！shenmou4672009-7-1914:28对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏0直线导轨2009-7-1918:31[quote]原帖由shenmou467于2009-7-1914:28发表对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85炉子）。谢谢[/q

2、uote]第一个问题再说的清楚点。晶棒晃动：这种现象俗称"棒摆"棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶/生长/收尾棒摆的原因有很多，不是单单一个方面引起的。曾经美国****公司花巨资专门研究这个为题。也没有得出明确结论。但主要方面有以下几点。:1.软轴（钢丝绳）2.提拉头，减速机构/旋转机构。3.热场。4.氩气（流量/气流在炉内的流动）5.炉子机构6.热场设计/分布7.真空系统（泵/管道）8.冷却系统（水流/水温）9.硅料（如拉电子级棒，不同型号的棒子。10.重锤（形状/重量/精度液面抖动原因：1.下轴机械部分：有死点/杂物/欠缺润滑

3、/轴弯了。2.下轴传动部分，减速器故障。如蜗轮断齿。3.下轴和炉体之间有杂物。（已发生在漏硅后,没有清理干净）4.检查电机驱动部分。伺服电机不会出现这种现象。直流电机经常发生。btsunny2009-7-1919:41学习;握手直线导轨2009-7-1920:22谢谢[捧场！tzlijf2009-7-1921:50华盛天龙的85炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因，[attach]64525[/attach][attach]64526[/attach]btsunny2009-7-1922:10是不是刚刚清完炉啊?tzli

4、jf2009-7-1922:22不是的，连续有二炉都这样，直线导轨2009-7-2011:09[size=7]检查提拉头。[/size][size=7]钢丝绳卷筒或轴承润滑油滴落！[/size];大兵;大兵;大兵;大兵SAD2009-7-2012:28晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？人口吧2009-7-2015:50有台汉虹炉子连续５炉到了６００－８００之间的长度时（其中一炉是４９０），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连

5、轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？直线导轨2009-7-2018:14[quote]原帖由SAD于2009-7-2012:28发表晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？[/quote]看是什莫炉子了。国产炉：PID调整厂家会给你参数的。直线导轨2009-7-2018:18[quote]原帖由人口吧于2009-7-2015:50发表有台汉虹炉子连续５炉到了６００－８００之间的长度时（其中一炉是４９０），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提

6、拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？...[/quote][size=5]检查一下提拉头皮带张紧力如何。负载太大张紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。[/size][size=5]另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。[/size][size=5]检查一下再说吧！[/size]wangyc82072009-7-2109:33搞不懂，顶！人才SAD2009-7-2114:31创联CL90和理工大80的PID是多少？直线导轨2009-7-2115:03[quote]原帖由SAD于2009-7-

7、2114:31发表创联CL90和理工大80的PID是多少？[/quote]不好意思这是人家的内部参数。我也不太清楚。如果你们购买的是他们的炉子，你可以向他要呀！或者让他们派技术人员来帮你没解决。我不是生产炉子的。谢谢！~恒新自控/创联科技总经理：丁积军  电话：你可以联系她！ygshebeigongsi2009-7-2115:41我帮你顶一下;强[quote]原帖由XUCK于2009-7-2208:35发表请教，怎样保证每一台单晶炉的供水压力都相同？[/quote]只要你冷却水系统设计的合理，你很容易根据每台炉子的压力表调整但台炉子

8、的压力。系统设计好后，因为每台炉子的内部水阻略有不同，所以会造成单台炉子之间以一定的压力不同，这是正常的。你可以根据每台炉子的压力表调整路子的进出水阀门，来调整压力。;大兵;大兵;大兵[quote]原帖由直线导轨于2009-7-201