二次元测量层间对准度的方法.docx

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1、二次元测量层间对准度的方法一、准备所需的样品，切片需抛光，利于查看。二、打开软件：Inspes三、操作：1、将样品放入平台上（镜头下方），需测量面向上，正面向前，尽量放正。2、打开灯光，调整灯光模式与亮度。3、选择合适的放大倍数，刚开始可选择小倍数，找到测量位置，并居中后，再放大到合适的倍数。四、测量：1、单击呼出元素，建立一个坐标系。2、单击线段线段扫描，选择一条较直的连续线段。3、再单击轴补正X轴，再在元素窗口中选择刚才的线段，以将轴补正，防止因放样品不平，有高度偏差，影响测量结果。4、选择多点输入平分最近点，依次在窗口中单击需测量的线条的两个端点。（多点输入：可以连续

2、测量较多的点。平分：取线的两个端点后自动找到中点的坐标，防止蚀刻偏差等提前测量精度。）五、输出1、在元素窗口中选中所需输出数据的点，单击右键输出。在输出窗口中选择需要输出的具体数据类型，选择X坐标、Y坐标，选中“同时输出标签”确认。（如图）2、在档案菜单栏下，单击输出，选择输出文件的路径。