储槽集中供气系统操作

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1、22冷作车间集中供气设备配置1、氩气15M3低温液体贮罐一台2、二氧化碳10M3低温液体贮罐一台3、氩气400㎏/h空温式汽化器两台4、二氧化碳水浴式汽化器3台（200㎏/h一台，50㎏/h两台）5、连接管道6、减压系统两套（氩气和二氧化碳各一套）7、混合气体配比柜6320M型两台8、气体终端箱工位点全系统操作步骤说明1打开车间内的二氧化碳加热汽化器电源给汽化器加热使其温度达到气化器设定的温度上限（※汽化器操作详见后边的汽化器使用说明部分,汽化器一般不需要断开加热电源）2打开二氧化碳减压系统与氩气减压系统上的

2、进出气阀门（减压系统上有一路减压阀是维修备用的，操作时只需打开其中一路就可以了）3打开氩气贮罐上的增压系统(详见后Ar低温贮槽操作/维护培训篇)待罐内压力稳定后打开氩气及二氧化碳贮罐的液体输出阀门.(由于二氧化碳用量较小因此在正常供气状态下罐内压力不低于1.5兆帕时不需要打开增压装置,若需要打开增压系统请参照CO2低温贮槽操作/维护培训篇）4打开两台配比柜上的进出气球阀522打开配比柜前面板上的电源开关配比柜进入工作状态，然后参照配比柜上的二氧化碳分析仪所显示对二氧化碳含量值进行调节（面板有二氧化碳含量调节旋

3、钮），使二氧化碳含量达到工艺要求。6打开混合气体工位点进气球阀及调节工位用气流量。※全系统操作前应确认罐内压力Ar1.0MPa以上CO21.5MPa以上※注：本系统已由我公司技术人员进行过整体调试，因此在使用过程中不需要按以上步骤逐次调试系统。用户在使用过程中只需要执行简单的操作即可，在系统使用状态下一般不需要对系统进行操作，只需进行日常观察即可。日常供气:1确认储罐及减压系统各阀门在正确位置上,可参照贮罐日常正常操作状态(确认放空阀为关闭状态)。2检查储罐内压力是否正常(一般为CO21.5MPa以上,Ar1

4、..2MPa)，。3打开管路上的供气切断阀后缓慢的微开储罐上的液体出口阀开始供气(一定要切记缓慢的微开)，直至供气压力稳定。4客户供气管道气体设定压力为10bar，需要时可调节管路上的减压阀使系统出口压力达到使用要求(顺时针拧顶紧螺丝为管道出口压力提高，但是此阀门不要经常调整以防失效。)5按先后顺序打开配比柜进出气阀门及电源开关。6打开工位点阀门及流量计※注意：CO2供气前请确CO2加热汽化器处于55℃左右，确认储罐内及管路中的压力未完全排空。※日常停气：若短时间（不超过10小时）不使用系统时应进行以下操作：

5、1，关闭配比柜电源按钮，2关闭配比柜进出气阀门3关闭工位点进气球阀。若长时间（超过1天，节假日等）不使用系统时，除以上操作步骤外还应：1)关闭储罐上的增压系统(详见后罐操作说明)。。2)关闭储罐上的液体出口阀(一定要确认完全关闭)。3)微开储罐上的放空阀，确认储罐内的压力下降为(Ar贮罐1.0MPa,CO2贮罐1.5MPa)后关闭放空阀。4微开减压系统上的排空阀确认管路内的压力下降为0.3MPa后关闭放空阀。22供气停气时各设备起停顺序：供气时：打开两贮罐的正常操作阀门——打开配比柜——打开工位点停气时：工位

6、点——配比柜——贮罐系统内各设备操作说明一，Ar贮罐日常正常操作状态：阀门状态顶部充装阀（A-2）关闭底部充装阀（A-1）关闭排放阀（A-12）关闭溢流阀（A-4）关闭均衡阀（A-9）关闭液体输出阀（A-13）开启增压器输入阀（A-3）开启增压器输出阀（A11）开启增压开启阀（A-14）开启液相（高压）阀（A-10）开启气相（高压）阀（A-8）开启日常供气:1确认储罐的各阀门在正确位置上(含增压系统阀门,开启增压系统可参照后边低温贮槽操作/维护培训篇))。2检查储罐内压力是否为设定值（设定为1.2MPa）22

7、3打开管路上的供气切断阀后缓慢的微开储罐上的液体出口阀开始供气(切记缓慢缓慢的微开储罐上的液体出口阀)直至供气压力稳定,然后将液体出口阀完全打开.长时间停气:长时间是指停止供气超过1天(节假日)1关闭储罐上的增压阀系统(顺序为先关增压器输入阀,关闭后稍等几分钟待汽化器内残余液体完全汽化后关闭增压器输出阀)2关闭储罐上的液体出口阀3微开储罐上的放空阀，确认储罐内的压力下降为1.0MPa检查与维护：1日常检查：每隔两小时作一次正常巡回检查。a.检查各阀门是否处于正常工作状态。b.压力表、液位计指示是否正常，反应是

8、否灵敏。c.设备、法兰、管道、阀门及各联接部分是否有泄漏。d.认真填写巡检记录。2定期检查：安全阀每一年检验一次，压力表每半年检验一次。3日常维护：a.在使用过程中，如发现储罐有较大面积出汗、结霜，关闭增压阀后仍不正常时，应立即通知我公司，并暂停使用。b.如果储罐或管路上的安全阀起跳，防爆片爆破不必惊慌可打开储罐或管路上的放空阀尽快泄压，并切换安全装置后，立即通知我公司。c.操作规程中未解释的阀门为