半导体物理基础 ppt课件.ppt

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1、半导体物理基础(ElementarySemiconductorPhysics)Conductor104~105s·cm-1Insulator10-18~10-10s·cm-1Semiconductor10-10~104s·cm-1(1)电导率介于导体与绝缘体之间(Chapter1BasicSemiconductorProperties)第一章半导体的一般特性1导电性(3)与温度、光照、湿度等密切相关(2)两种载流子参于导电(4)与掺杂有关2SemiconductorMaterialsElemental(元素)Compounds(化合物)Alloys(合金)指两种或多

2、种金属混合,形成某种化合物(1)classifiedas(2)CrystalstructureDiamondlattice(金刚石晶格)Si、Ge…..Zincblendelattice(闪锌矿晶格)ZnS、GaAs、InP、CuF、SiC、CuCl、AlP、GaP、ZnSe、、AlAs、CdS、InSb和AgI(3)MillerIndices(236)B:(101)A:(201)或(201)等效晶面<100>(5)theangleθbetween[h1k1l1]and[h2k2l2]:(4)Interplanarspacinga—Latticeconstant(h

3、kl)planes:3EnergyBandTheoryNearlyfreeelectronmodel(1)GeneralConsiderationTight-bindingmodel对称性E(k)=E(-k)周期性(2)Constant-EnergySurface(3)BrillouinZonesFirstBrillouinzonesformaterialscrystallizinginthediamondandzineblendelattices.(4)Ge,Si,andGaAs~EnergyBandCyclotronresonanceexperiments测m*

4、m*能带结构(回旋共振实验)Bvθfv//v┴r电子的初速度为v,在恒定磁场(B)中:若等能面是椭球面,沿kx、ky、kz方向有效质量分别为:设B沿kx、ky、kz轴的方向余弦分别为:那么:其中:以硅为例:(1)B沿[111]方向,观察到一个吸收峰。(2)B沿[110]方向,观察到两个吸收峰。(3)B沿[100]方向,观察到两个吸收峰。(4)B沿任意轴方向,观察到三个吸收峰。硅导带底附近等能面是沿{100}方向的旋转椭球面。硅导带底附近等能面是<100>方向的旋转椭球面。分析:设:θBk1k2k3[001]适当选取坐标,使B位于k1-k2平面内:α=sinθβ=0γ

5、=cosθ则:α=sinθβ=0γ=cosθθBk1k2k3Constant-EnergySurface(等能面)Ge、Si、GaAsE-k关系图(Ge、Si)3.3.2锗:Eg=0.74eV硅:Eg=1.17eV1-Heavyholes2-LightholesHeavyholes?Lightholes?T=0KE-k关系图(GaAs)GaAs:Eg=1.16eV本征半导体:是指一块没有杂质和缺陷的半导体.本征激发:T>0K时,电子从价带激发到导带,同时价带中产生空穴.n0=p0=nin0p0=ni2ni------本征载流子浓度1.IntrinsicSemicon

6、ductor(本征半导体)第二章半导体中杂质和缺陷能级*从si的共价键平面图看:P15:1S22S22P63S23P3这种束缚比共价键的束缚弱得多,只要很少的能量就可以使它挣脱束缚,成为导带中的自由粒子.这个过程称杂质电离.Doped/extrinsicSemiconductor(掺杂/非本征半导体)(1)Donor(施主杂质)n型半导体Ⅳ族元素硅、锗中掺Ⅴ族元素,如P:*从Si的电子能量图看:结论:磷杂质在硅、锗中电离时,能够释放电子而产生导电电子并形成正电中心。这种杂质称施主杂质。掺施主杂质后,导带中的导电电子增多,增强了半导体的导电能力。主要依靠导带电子导电的

7、半导体称n型半导体。电离能的计算:氢原子(2)Acceptor(受主杂质)p型半导体Ⅳ族元素硅、锗中掺Ⅲ族元素,如硼(B):*从si的共价键平面图看:B13:1S22S22P63S23P1小结:纯净半导体中掺入受主杂质后,受主杂质电离,使价带中的导电空穴增多,增强了半导体的导电能力。主要依靠价带空穴导电的半导体称p型半导体。*从Si的电子能量图看:(3)杂质的补偿作用半导体中同时存在施主杂质和受主杂质时,它们之间有相互抵消的作用——杂质补偿作用。*当ND》NA时,n=ND-NA≈ND半导体是n型*当ND《NA时,p=NA-ND≈NA半导体是p型*当ND≈NA时,

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