多晶检验流程ppt课件.ppt

《多晶检验流程ppt课件.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、无锡荣能半导体材料有限公司质量部目录1.硅2.单晶硅简述3.单晶硅生产流程4.多晶硅简述5.多晶硅生产流程6.多晶硅检测一、硅理化性质灰色金属光泽，密度2.32~2.34g/cm3，熔点1410℃；沸点2355℃。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂。加热至800℃以上有延展性，1300℃时显出明显变形。常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，几乎能与任何材料作用。具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，是制造半导体的基

2、础材料，但微量的杂质即可影响其导电性。工业制法由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯化，再经冷凝、精馏、还原而得。H2+Cl2=2HCl3HCl+Si=SiHCl3+H2SiCl4+H2=SiHCl3+HClSiHCl3+H2=Si+3HCl二、单晶硅定义晶核长成晶面取向相同的晶粒，这些晶粒结合起来，形成单晶硅单晶硅生产流程：多晶硅料选料酸洗水洗烘干封装投料单晶拉制硅棒截断剖方磨面滚磨腐蚀粘棒切片脱胶清洗包装检验检验检验检验检验单晶片常见缺陷杂质、隐裂、微晶、超薄、超厚、台阶、崩边、线痕、孔洞、黑斑、TTV、尺寸偏差

3、、裂片、缺角、硅晶脱落、翘曲度三、多晶硅定义晶核长成晶面取向不同的晶粒，这些晶粒结合起来，形成多晶硅多晶硅生产流程：多晶硅料选料酸洗水洗烘干封装投料铸锭开方切断磨面倒角毛刷粘棒切片脱胶清洗包装检验检验检验检验检验硅锭编号规则：A1B2B3B4A5B6C7C8C9B10B11C12C13C14B15B16C17C18C19B20A21B22B23B24A25A1A2A3A4A5B1B2B3B4B5C1C2C3C4C5D1D2D3D4D5E1E2E3E4E5A1A2A3A4A5B6B7B8B9B10C11C12C13C14

4、C15D16D17D18D19D20E21E22E23E24E25开方切断检验步骤检验红外探伤少子寿命PN结电阻尺寸、角度、外观红外探伤1.原理在特定光源和红外探测器的协助下，红外探伤测试仪能够穿透硅块，纯硅料几乎不吸收这个波段的波长，但是如果硅块有内部缺陷，则这些缺陷将吸收红外光，在成像系统中将呈现出来，而且这些图像将通过显示器显示出来。2.仪器SemilabIRB50InfraredBlockAnalyser（红外探伤检测仪）3.步骤上料用酒精将待测晶体侧面擦拭干净，将晶体尾部朝下，头部朝上置于工作台面上。扫描点击

5、“measure”按钮，输入编号和序列号，点击“OK”，系统开始自动扫描，扫描图像通过显示器显示出来，扫描完成后，系统自动保存查看观察图像是否有内部缺陷，如果有内部缺陷，用记号笔在相应的部位做好标记，并在随工单上写明缺陷类型卸料将晶体从工作台面上卸出来备注：如果需要扫描某一指定面时，单击“BlockMotorOff”按钮，手动旋转工作台面至相机处，单击“FreeMeasure”，则仪器扫描这一指定面硅块探伤常见缺陷裂纹、阴影、杂质、微晶、黑点裂纹阴影阴影杂质阴影微晶少子寿命1.原理微波光电导衰减法主要包括两个过程：即激

6、光注入产生电子-空穴对、微波探测信号904nm的激光注入（深度30um）产生电子-空穴对，导致样品电导率增加，撤去外在光注入时，电导率随时间指数衰减，这一趋势间接反映少数载流子的衰减趋势，通过微波探测电导率随时间变化的趋势得到少数载流子的寿命2.仪器SemilabWT-2000D(u-PCD无接触微波光电导衰减法少子寿命扫描仪）3.步骤上料将晶体头部朝左，尾部朝右置于工作台面上，点击“Loadwafer”上料，上料后系统自动寻边设置信号参数点击“Recorder/Autosetting”系统自动设置信号参数扫描点击工具

7、栏中的“map/resume”按钮，系统对晶体进行逐行扫描保存将所扫描的数据、图像保存到指定的文件夹中（在“File”菜单中选择“saveall”）取值在“INFO/Histogram/lists/min”中将数据修改为“1.5”（外来加工晶体此值修改为“2”），单击左下角方框画线取值完毕后，扫描图像会作相应的变化，在同一截面2/3以上宽度右击，右击后探头会作相应的变化，在探头相应变化的位置做上记号卸料单击工具栏中“Unloadwafer”按钮，将晶体从工作台面上卸下来，用直角尺把所做记号画长少子寿命抽检示意图A1B2

8、B3B4A5B6C7C8C9B10B11C12C13C14B15B16C17C18C19B20A21B22B23B24A25A1A2A3A4A5B1B2B3B4B5C1C2C3C4C5D1D2D3D4D5E1E2E3E4E5A5：A1、B2、B3、B4A5:A1、A2、A3、A4C9：C8、C、13、C14B4：B3、C3、C4B