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时间：2020-10-05
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薄膜中的应力首先，薄膜与基底常属于不同的材料；其次，薄膜的沉积过程往往又要在较高的温度、非平衡的条件下进行。因此，薄膜材料的一个特殊问题是薄膜中普遍存在的应力薄膜应力的分布一般来说是不均匀的。但由于薄膜应力问题的复杂性，薄膜应力多是指薄膜在断面上的应力的平均值薄膜中总存在应力。它被称为内应力或残余应力，其数值随材料、制备技术的不同而不同，甚至可达100-10000kg/mm2(0.1-10GPa)数量级 应力造成薄膜破坏的情况(a)拉应力(b)压应力 Imageofatelephonecordbuckleonafilm.Aftercuttingthefilm,thebucklegeometryandthediscontinuityrevealfilmstressrelaxation.应力造成薄膜破坏的一个实例 薄膜中存在应力的一个最直接的结果是其在薄膜中要引起相应的应变，因而可以用多种方法对其进行测量（例如用X-射线衍射的方法）最直观的薄膜应力测量方法是由测量薄膜的曲率变化计算薄膜中应力的方法，即应用定量描述薄膜应力-形变关系的斯通利（Stoney）方程（1909）薄膜中应力的测量 Stony方程的三点基本假设：Stony方程的推导方法：描述薄膜中应力的Stony方程薄膜的厚度远远小于衬底的厚度，df<
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