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1、玻璃镀膜工艺规程RDBL/WJ-7.5.1-111.概述:本规程对镀膜玻璃的工艺控制做了具体的规定,以确保镀膜玻璃生产的精确控制,保证产品的质量;2.适用范围:适用于镀膜玻璃的工艺控制;3.职责:微机岗工艺控制员主要负责,生产技术科（工艺主管）监督执行;4.具体操作与规则:4.1溅射室抽真空至4×10-5mbar以下,抽气时间不能少于8小时;4.2根据靶材寿命合理安排生产批量和换靶周期,但必须保证在靶材溅痕最深处剩余3mm前换靶,如有临时性大批量生产任务,可根据批量调整换靶周期;4.3检查设备各部分是否全部正常,包
2、括:a真空泵系统:运转情况、油位、油质、泵温；b阴极冷却水系统：运转情况、水温、水压，要求水压0.4～0.7MPa,水温40℃,温控单元必须在生产前8小时启动;c循环冷却水系统:运转情况、水温、水压，要求水压0.6～0.7MPa,供水温度低于30℃;d去离子水单元:运转情况、电导率，要求电导率低于15μs/cm,发现电导率超标及时进行树脂再生;e电渗析器:检查电流、电压、淡水出口电导率、水槽中水的电导率，要求水槽中水的电导率低于180μs/cm,发现超标及时换水,电导率超标禁止给去离子水单元供水;f空压机:运转情况
3、、气压，要求气压在0.6～0.8MPa;g各工作气体气瓶压力不低于1.5MPa,供气压力为0.2-0.3MPa;h设备任何部位不正常均不能开车生产;4.4预溅射:4.4.1抽气过程中的预溅射：抽气过程中的预溅射，分为两步进行，当真空度达到1×10-4mbar后即可进行首次预溅射。a.锡靶：从5KW/10A起动进行金属性溅射,只通氩气100×3sccm，逐步升到35KW/70A，注意在预溅过程电压超过700V立即降低功率或电流，溅射约20分钟。b.钛靶、不锈钢靶：采用金属性溅射，功率从5KW、20KW、40KW到55
4、KW，预溅射约5分钟。c.镍铬合金：对应的阴极开200SCCM氩气，在手动点靶状态下按功率5、10、15、20KW开启，在20KW时溅射5分钟，注意观察阴极电源输出功率是否为正常的20KW左右。a.银靶：在生产调试前通氩气100，100，180SCCM，将功率按10KW，20KW逐步起动，在20KW做2分钟金属性溅射即可。b.硅靶：通氩气20,120,220SCCM下,将功率从1KW开始,逐渐升至8KW,溅射5分钟，关阴极等5分钟后再从8KW启动，逐渐升至18KW,在18KW做3-5分钟,注意在预溅过程中电压不要超
5、过700V，连续溅射时间不能超过10分钟，防止靶材脱落。当真空度达到5×10-5mbar后即可进行第二次预溅射。a.所有靶材均采用金属性溅射，锡靶5分钟，银靶1分钟，其他靶材3-5分钟。b.锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射,锡靶对应氩气70sccm，氧气550-600sccm，逐渐调到15KW/20A溅射10分钟，再逐步升到35KW/70A，溅射10分钟。最后再进行金属性溅射3分钟。c.关闭阴极和工作气体继续抽气。4.4.2生产前的预溅射：在生产前,应先对靶材进行预溅射,以使靶材进入良好的工作状态,满足生产
6、的需要,预溅射应遵守以下规定:a.锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射,锡靶对应氩气70sccm，氧气550-600sccm，逐渐调到1到35KW/70A，预溅10分钟后开始调整氧量,找出临界点,记录翻转前的电流，在临界点加20sccm氧气进行预溅，逐渐降氧气流量至溅射电流接近上次翻转时的电流，以此氧量作为工艺点，在工艺点位置预见溅3分钟。经过对我们现有设备的长期摸索，工艺点定在500±10sccm比较合适。b.其他靶材均采用金属性溅射，银靶1分钟，其余靶材3-5分钟。4.4.3生产过程中的预溅射（清靶）：生产
7、过程中要定期对锡靶进行清靶，即对锡靶进行金属性溅射，第一次清靶在生产约48小时后进行，第二次清靶在生产约72小时后进行，以后约每生产8—16小时清一次靶；生产过程中发现锡靶放电严重、阳极电位偏高（超过25V）或靶向色差偏大等现象应立即进行清靶，一般用35KW对应300sccm的氧量溅射至阴极电压达到700V即可，清靶后要重新进行高氧气流量的反应性溅射10-15分钟，然后选择工艺点的工作，要求工艺点基本与清靶前一样。4.5工艺参数的设置:预溅完成后,停阴极,根据生产需要输入工艺菜单,把所有需用的工作气体开启,进入“自
8、动准备”状态，开阴极，即可进入样品调试；4.6试产样片:a将待加工玻璃中切裁300×1000mm的玻璃镀成样片;b配合质检员测试样片的透光率、反射率、色差、面电阻等指标；c样片以上指标达到标准要求,在质检员同意后开始生产。4.7生产:1)生产前和生产过程中要认真巡视设备的运行状况，监视工作气体压力及流量、冷却水压力及温度、压缩空气压力、清洗水电导率、泵的运转
