uv 紫外线灯及其在 lcd 制造过程中的作用

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1、UV紫外线灯及其在LCD制造过程中的作用汕头超声显示器有限公司黄树波2003-4-411:26:50摘要：UV紫外线光是一种不可见光，它广泛应用于医疗、电子等行业，在半导体行业特别是LCD行业更是得到大量的使用。本文从多方面论述UV紫外线光在LCD的整个制造过程中的作用及其控制点，讲明如何充分利用紫外线光为提高LCD的制造水平和产品质量服务。关键词：紫外线，紫外线光，LCD，清洗，光刻，固化，UV固化胶，APR胶版，接触角，光能量。一、紫外线紫外线光是一种波长范围为1360×10-10m~3900×10-10m的不可见光线。按波长范围可分为A、B、C三波段和真空紫外线：①A

2、波段320nm~400nm；②B波段275~320nm；③C波段200nm~275nm；④V波段---真空紫外线100~200nm。各种波长范围的紫外线光的作用是不同的，有些是用来杀菌的、有些是用来清洗的、有些是用来光刻的、有些是用来固化的。紫外线灯按照启动与工作方式可以分为瞬间启动型、冷阴极型、热阴极型，而对于同样耗电的情况，瞬间启动型的照射功率最强。另外，灯的照射功率还随周围及管壁的温度而变化，因此必须控制好紫外线灯周围及管壁的温度，以使紫外灯发挥最佳的效果。二、LCD制造过程中UV紫外线的作用在整个液晶显示器LCD的制造过程中，可以说离不开紫外线光，没有紫外线光的使用

3、，液晶显示器就无法进行生产。下面将对其在LCD生产过程中所起的作用进行详述。1、在光刻方面：（1）、图形制作：利用365~405nm波长（A波段）的紫外线光对涂有光刻胶的ITO玻璃进行一定时间的照射后，由于光刻胶吸收了一定的光能量，发生了光化学反应，使光刻胶的性能发生改变，受光部分经过显影液能溶解掉，露出ITO膜，然后用蚀刻液将露出的ITO膜蚀刻掉，从而得到与掩模版完全一致的ITO图形。（2）、取向膜涂覆版的制作：取向膜涂覆版通常称为APR胶版，其结构如下：下面是一层橡胶基板，基板上有一层一定厚度的感光材料，上、下贴附一层塑料保护膜。制版前先将APR版的上、下保护膜撕掉，将

4、菲林版贴在APR胶版的感光材料面上，并使用真空吸附的方法将菲林与APR胶版紧紧贴合在一起，然后利用365nm波长的紫外光进行一定时间的照射。由于紫外光的作用，受紫外光照射的感光材料层发生变化，当用特定的冲洗液进行冲洗后，没受感光部分的感光材料就被洗出，从而制作出APR胶版。2、光固化方面:（1）、UV固化胶的固化光固化目前主要是在液晶显示器的后制程中得到广泛应用，用于液晶盒的封口和固定PIN管脚。这主要是利用紫外线光照射紫外固化胶，使胶发生化学交联和聚合作用，达到固化，从而形成牢固的封口及将PIN管脚牢固地固定。目前使用的紫外光波长主要是365nm。由于UV固化胶具有固化时

5、间快、接着力强、耐热、耐湿等优点，目前已经推广应用到前制程的封边框上。（2）、TOP的UV固化在STN-ITO玻璃上涂覆绝缘膜SiTi并进行预固化后，TOP层的物质形态为以离子形式存在的层状疏松结构，硬度很低。采用UV固化装置对ITO玻璃上的绝缘膜TOP层进行良好的紫外光照射，使绝缘膜上含有的聚合体、单体、光聚合剂等感光性材料吸收了高能量的紫外光后，发生"光集合交联反应"，使离子之间发生交联，TOP层的物质形态变成网状紧密结构，再经过后固化后，其硬度就大大增加，达到降低后固化的温度和提高表面硬度的目的。3、光清洗与光改质（1）UV光清洗在液晶显示器的制造过程中，对ITO玻璃

6、上的洁净度要求是非常之高的，要生产线间距和线宽为10μm的产品，并且保证成品率，对曝光前的涂膜要求是相当之高。要提高涂膜的效果，首先要保证玻璃是洁净的。在以往的清洗技术（化学清洗和物理清洗）中，经常很难达到这种洁净度要求。如何提高玻璃表面的洁净度，提高敷膜的效果呢？目前国外得到广泛使用的是UV紫外光清洗，它一方面能避免由于使用有机溶剂造成的污染，同时能够将清洗过程缩短。其工作原理是利用紫外光子对有机物质所起的光敏氧化作用以达到清洗粘附在物体表面上的有机化合物（碳氢化合物）的目的。在实际应用中，通常是利用一种能产生两种波长的紫外灯，这种UV灯能够产生波长为254nm、185n

7、m的紫外光（通常185nm波长的仅为254nm波长光的20%）。其工作过程是：大多数有机化合物对其中254nm波长的紫外光有较强的吸收能力，它们在吸收了紫外光之后，分解为离子、游离态原子、受激分子和中性分子，这即光敏作用。而大气中的氧气在吸收了波长为185nm的紫外光子后产生臭氧O3和原子氧O，产生的O3对254nm波长的紫外光又具有强烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又会分解为氧气和原子氧O，由于原子氧极其活泼，物体表面上的碳和氢化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可挥发性气体：二氧化碳、氮气和水蒸气等逸出物