兰红波：潜心纳米压印-论文.pdf

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1、【创新之路1WayofInnovation兰红波：潜心纳米压印本刊记者廖潇莎本批量化制造大面积微纳结构方面已经显示了突出的潜能和显著优势，具有广阔的市场和商业化应用前景。正是因为认识到微纳制造技术的重要性和巨大的社会需求，兰红波将全部身心都投入到了纳米压印的研究和开发之中并取得了不俗的成绩，在科技创新的征途上踏出了一条芳香之旅。近1O年来，兰红波一直致力于纳米压印、微纳制造、光电子器件制造3D打印等方面的研究和开发，先后主持国家自然科学基金重大研究计划(培育项目)教育部“新世纪优秀人才”支持计划项目等国家和省部级课题1O项．参与国家级课题6项．取得

2、了一系列创新成果。由他带领的纳米制造与纳光电子实验室，以应用为牵引，致力于研发批科学研究应该坚持“顶天立地”。费电子产品，以及量子通信、高亮度量化大面积纳米压印工艺、装备及商业所谓“顶天”即是瞄准国际研究前沿，LED、闪存、CPU等您肯定熟悉。没错化应用．开发了国内首台拥有自主知识不断创新创造高端领先的技术成果：这一技术就是21世纪最具发展潜力的高产权的4英寸整片晶圆纳米压印光刻机立地”指的则是科研成果的产业化，新技术——微纳技术。目前，它已经成和滚型纳米压印光刻机。先后在本领域解决国家和社会的需求．服务于社会。为未来10年的战略性新兴产业．也是高

3、顶尖期-]：lJNanoToday(IF：17．689)、近1O年来，兰红波一直潜心纳米压印技新技术产业发展新的增长点，是支撑新fnternationaIJournaJofAdVanced术的基础研究和工业化应用．在纳米压一代信息技术、节能环保、生物医疗ManufacturingTechnology、《中国科学印研究领域不断创新，始终秉持“顶天新材料、新能源等战略性新兴产业的基E》等期刊上发表学术论文62篇。出版立地”做科研的理念，用纳米压印技术础和关键。纳米压印英文学术专著1本，受遨参编改变我们生活和创新未来。据兰红波介绍，微纳米结构制造英文学术

4、著作3部(BookChapter)。持有(微纳米图形化)被认为是微纳制造技术1项美国专利，22项中国发明专利(第瞄准广阔前景，的核心．尤其是高效、低成本批量化制造一发明人19项)．申请18项发明专利潜心纳米压印大面积微纳米结构的工艺和装备是实现微(包括3项PCT国际专利)。说起纳米压印．您可能不清楚。纳器件和产品从实验室走向大规模工业化由于在行业内的突出贡献，但是，如果说平板电脑、笔记本、高清应用的根基。与现有的其它微纳结构制造兰红波受邀担任AdVancesin电视、监控摄像头、柔性电子等众多消技术相比．纳米压印光刻在高效、低成Microelect

5、roniCEngineering~nJournaJ54科学中国人2014年7月·综合ofControlEngineeringandTechnology面积整片晶圆(晶圆尺度)纳米压印工目前，该项成果已申请1项国际PCT的编委，InternatiOnaIJOurnaIOf艺被认为是实现光子晶体LED一种理想专利．3项发明专利并应邀于今年6月AdvancedManufacturingTechnology、的解决方案。参加在墨西哥举办的2014EMN(能源MicroelectronicEngineering等16种国际兰红波抓住机遇，带领项目组发展材料与

6、纳米技术)国际会议，并作邀请期刊审稿人，并多次受邀在日本、美了一种基于气体辅助顺序微接触压印和报告。国等举办的国际会议上做邀请报告和揭开式脱模的全新整片晶圆纳米压印工此外，瞄准超大面积(m级尺度)大会报告。艺，并完成了工程样机的开发实现了非平整刚性衬底纳米图形化国际难题和光子晶体LED高效、低成本、批量化、巨大的产业化要求．兰红波还开发了两顶天立地做科研，一致性制造突破了制约光子晶体LED种原创性大面积纳米压印工艺：复合纳挑战更高更强批量化制造的国际性难题。米压印和基于带形模具的纳米压印正科学的乐趣．很多时候在于挑战。正是看准了纳米压印的广阔前景，

7、在开展相关工艺和装备的研发．以期在纳米压印领域．兰红波不懈攀登．只兰红波选择了勇往直前。今年，他又承实现超大面积复杂三维纳米结构和高深为领略更为壮美的风景，以自身智慧为担起”国家自然科学基金面上项目：面宽比微纳结构高效、低成本和规模化制人类发展贡献力量。近年来．他先后承向LED图形化的大尺寸和非平整衬底整造．为高效太阳能电池板、高清平板显担多项重要研究课题．取得许多创新性片纳米压印方法研究”。示、高性能玻璃等提供另外一种全新的研究成果。据他介绍，我国的LED产业正从产思路和方案，具有更高的质量、效率和2011年兰红波主持了国家自然业链低端的封装和末

8、端的应用开始转向更低的生产成本。目前．该项目已得到科学基金纳米制造的基础研究”重大产业链高端的LED芯片制造外延生长青岛市