扫描电镜与电子探针分析.ppt

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1、扫描电子显微镜原理&应用入射电子透射电子吸收电子俄歇电子二次电子特征X射线背散射电子电子束与固体样品作用时产生的信号电子枪聚光镜聚光镜显像管物镜样品信号探测器信号放大和处理放大变换扫描线圈扫描发生器扫描电子显微镜结构图电子光学系统真空系统信号收集和记录系统SEM的主要性能分辨率性能放大倍数信号二次电子背散射电子吸收电子特征X射线俄歇电子分辨率5~1050~200100~1000100~10005~10能分辨图像中两个颗粒间的最小距离入射电子束二次电子俄歇电子背散射电子特征X射线连续X射线滴状作用体积二次电子的特点从样品表面

2、5~10nm深度激发出，其数量和原子序数没有明显的关系，但是它对微区表面的几何形状十分敏感。CDBA二次电子产额图像衬度样品表面形貌衬度原理及其应用应用3、材料变形与断裂动态过程的原位观察1、断口分析2、表面形貌观察背散射电子特点背散射电子来自样品表层几百个纳米的深度范围。产额随样品原子序数增大而增多，可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。原子序数衬度原理及其应用电子探针显微分析结构与工作原理电子探针仪的结构示意图见图.电子探针仪除X射线谱仪外，其余部分与扫描电子显微镜相似。分光晶体工作原理图一、波长分散谱仪（WD

3、S）(a)约翰(Johann)型聚焦法(b)约翰逊(Johansson)型聚焦法直进式波谱仪直进式谱仪的特点:分光晶体从点光源S向外沿着一直线运动，X射线出射角不变，晶体通过自转改变角。聚焦圆的中心O在以S为中心，R为半径的圆周上运动。结构复杂，但X射线照射晶体的方向固定，使X射线穿出样品表面过程中所走的路线相同，也就是吸收条件相同。回转式波谱仪聚焦圆的中心O固定，分光晶体和检测器在圆周上以1：2的角速度运动来满足布拉格衍射条件。这种谱仪结构简单，但由于分光晶体转动而使X射线出射方向变化很大，在样品表面不平度较大的情况下

4、，由于X射线在样品内行进的路线不同，往往会造成分析上的误差。定点分析谱线图二、能量分散谱仪（EDS）电子束在样品表面作光栅扫描时，把X射线谱仪固定在接收某一元素特征X射线信号位置上此时在荧光屏上便可得到该元素的面分布图像。将谱仪固定在所要测量的某一元素特征X射线信号（波长或能量）的位置上，使电子束沿着指定的路径扫描，便可得到这一元素沿该路径的浓度分布曲线。将电子束固定在需要分析的微区上，则可得到该微区内全部元素的谱线。点分析线分析面分析电子探针分析方法CaPTi(3)面扫描分析在一幅X射线扫描像中，亮区代表元素含量高，灰区

5、代表元素含量较低，黑色区域代表元素含量很低或不存在。a),形貌像b),Bi元素面分布相