纳米探针制造工艺论文翻译.doc

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1、制造工艺通过电子、化工、机械和热过程的探针纳米制造由电，化学，机械和热过程所作的基于秘诀的毫微制造基于尖端的纳米制造由电力、化工、机械和热过程文献信息关键词纳米制造纳米制造基于探针的纳米制造摘要在功能、材料、尺寸以及他们的集成方面更复杂的纳米产品越来越需要更先进的指导工具。他就被像超紧密内存、个性化医学和药物运输、分子观察和排序、纳米电路（和一样的程序）驱使。探针纳米制造（TBN）平台代表一种强有力地处理例如用途■体现纳米级制造业务各种包括加工、存放、模式和装配现场计氣这个主题体现了基于“探针纳米”

2、应用在电学、电化学、机械、电磁和一些体现制造手段的一个TBN全面过稈。1介绍今天，早期的成功表明纳米技术在很多世界性挑战血前有巨大的潜力，在能源生产、能够承担的卫生保健、安全和食品、以及更好的空气和水质量方面都将产生革命。自动工程师和生产结构将在纳米领域开发独一无二的属性这一能力将量了飞跃和改善高性能技术——从新的传感器，高密度数据存储和药物输送到高能量原材料和能量高效的太阳能电池。虽然很多项忖被用來确认能够川来在生产的纳米材料和纳米方法，当前的纳米生产能力因为纳米尺度组件和系统限制了他的商业化。最

3、大的因难就是在纳米方面建造和扩大一个大范围更复杂更高精度和更好性能的结构的能力［11。纳米丁具探针正在成为完成这种的挑战的独一无二的关键因索。尽管很多论文表明他们解决传统材料纳米探针的表征能力在原了力显微镜（AFM）,扫面隧道显微镜以及纳米压痕。这篇论文全面讲述纳米探针在生产制造应用方血的进程和使用。1.1纳米探针原始纳米世界。纳米技术的前期来源于希腊语n［TD$INLINE］,也就是“矮小”的意思，拥有1965年的诺贝尔奖物理,1959年12月29口,美国物理学会的博士费曼先生的一个讲屎2后，“T

4、here'sPlentyofRoomattheBottom”［2］纳米开始受到科学界的关注。这段时间，有很多次定义纳米技术，例如Taniguchi定义他为通过一个原了或者一个分了对材料进行分离、整合和变形的一个过程⑶.近些年來，简单定义它来自［4］“纳米技术是大约1到100纳米这个范围的材料的理解和控制，能够产生独一无二的新现彖。包括纳米科学，工程和技术,纳米在这个尺寸下牵扯着成像，测量，建模和操纵问题。”对于科学和技术的纳米生产系统，结构和了系统的开发和生产最感兴趣的在于其根木的强大优劳。一般，在

5、原了和分了水平上产生物质的相互作用是产生反应［5］,没有缺陷的材料［6］.在提高表面活性的较高表明体积比⑺，更高的压实密度单位体积［8］以及可以用来做新材料，新设备、新材料和新系统的很多其他独一无二的特性。一般，纳米制造基于材料属性变化在小于lOOnm的情况下和建立在大最潜在可能性的情况下的纳米结构。为了完成这个任务，非常必要的是有良好的T具能够拍照（（i.e.microscopy）,判断（（i.e.microscopy）和预测（例如物理模型），反应以及其他进程这些能在纳米尺寸上发生。在过去十年，在

6、纳米技术首次成功主要由于纳米进展（见图I）,为此定义为科学和工稈设计、沉积，加工、计量、组装和集成异构材料生产数以百力计的纳米设备、组件和系统用可持续发展的方式。现在，纳米结果普遍存在许多商业部分屮，例如纳米组件用挂上油漆，高校催化剂和电池防晒乳液、基于纳米癌症检测洗进润滑剂和高I耐磨纳米复合涂料切割T具［9-14］.纳米被预测在提升制造和测量复杂性方面提升了三次（图2）。第一次纳米材料为当前的经济动力包括纳米集成到微观和宏观系统，例如基于大部分复合材料和涂料的纳氷材料。第二次纳米材料包括纳米和亚微

7、氷大小的功能集成的了系统，例如量子点分层发光二极管（1ed）和激光集成。第三代纳米材料包含完整地在纳米（＜100nm）纳米，例如分了电路，传感器和设备系统，一般，十分需求在sub-micro.纳米和微米尺寸上实现纳米的第二次和第三次的产品的一系列的制造业流程和高阶导数计量工具。更重要的是，到2025年，行业将大规模生产第二和第三代纳米系统商业化的社区将被设想和实现。很多这样的例了如单DNA（生物条形码）检测设备、高选择性的分了检测设备等化学和生物制剂炭疽，纳米机器人探测和单细胞手术/提取、单电子晶体

8、管、高密度的分了存储设备、超快量了点和量了线的基础到通信，基于单一纳米线加速度计，芯片纳米线发电机，和许多其他。然而然而,纳米流程的可用选项（见表1）［15・28］包括光学光刻，纳米和集屮电了/离了束技术生产为这些第二代和第三代系统能够能通过所需的三个维度和超高的公差尺寸在sub-20纳米限制他们的能力在机器不同材料。从生产角度来看，一个完整小于100nm的系统需要的组件是小于20nm公差小于正负1nm。・这些显然需要由设计纳米探针发展,以下简称TBN的DARPA20