溅射薄膜压力敏感元件使用说明

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1、溅射薄膜压力敏感元件使用说明1.概述溅射薄膜压力敏感元件采用溅射工艺在17－4PH金属膜片上制作绝缘层及金属应变电桥和温度敏感电阻，具有稳定性高、耐高温、介质适应性强的特点。2.结构外形和电器接口膜片内孔直径A＝4.5mm压力量程：0.5MPa～2MpaA＝3.5mm压力量程：3.5MPa～220Mpa3.敏感膜片结构安装要求敏感膜片和压力接口的连接采用焊接方式（圆周对焊），具体安装图如下所示：4焊接基座焊后结构膜片和基座的焊接可采用电子束焊、激光焊及微束氩护焊。焊接时膜片部分应加散热工装，并保护电桥部分（上图1面）。膜片电桥部分（上图1面）在

2、焊接过程中温度应小于150℃。基座材料应采用17－4PH或1Cr18Ni9Ti、316不锈钢材料。3.使用注意事项4.1严禁用手或其他物体接触膜片表面（应变图形），膜片表面的任何划伤均会损坏膜片。4.2膜片电接点方式：镍材料－采用超声压焊，可用于高温传感器。4.3膜片电接点焊接后建议使用硅凝胶涂覆膜片表面以保护应变电桥。4.44膜片焊接后，应对传感器组件进行机械稳定20次以上，压力大小为量程的2倍。根据具体应用情况，进一步进行机械稳定（机械稳定次数视膜片稳定性要求而定，建议在20～2000次之间）。4.5建议对应变电阻进行电老化：供电电压10～

3、15VDC，＋150℃12小时。根据实际情况可进一步电老化。4.6应变电桥的供电应采用直流恒压供电，供电电压为0～20VDC。3.主要技术指标：量程：0.5～220MPa;电桥输入阻抗：3～4KΩ电桥输出阻抗：2.8~3.8KΩ零点：±1mV/V灵敏度：1mV/V～2.6mV/V(根据量程变化)绝缘电阻：大于500MΩ100VDC。工作温度范围：－70℃～200℃；（锡焊连接，最高温度以焊锡使用温度为准。）零点温度漂移：小于0.005%FS/℃灵敏度温度漂移：小于0.005%FS/℃长期稳定性：小于0.1%FS/年。静态过载压力：2倍量程压力；

4、动态过载压力：1.25倍量程压力；破坏压力：10倍量程压力温度敏感特性：4Vc=（温度输出）－（电源－）Vc初值：46mV/V~60mV/VVc灵敏度：＋4800～＋5100ppm/℃4