扩散硅压力变送器的温度补偿方法.pdf

《扩散硅压力变送器的温度补偿方法.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第23卷第4期仪器仪表用户EICVo1．232016年4月NSTRUMEN0N2016No．4扩散硅压力变送器的温度补偿方法孟丹丹，陈兵，秦文。(1．中环天仪股份有限公司，天津300384；2．天津工业自动化仪表研究所有限公司，天津3000603．河北工业大学控制科学与工程学院，天津300130)摘要：扩散硅压力变送器具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点，但容易受温度影响，导致零点漂移和灵敏度漂移。因此需对扩散硅压力变送器进行温度补偿。本文提出了一种软件补偿方法，首先建立扩散硅压力变送器与温度的高阶温度补偿模型，工控机利用最小二乘回归算

2、法(PLSR)求出压力变送器的温度补偿系数，通过HART通讦峙巴温度补偿系数发送到压力变送器中，压力变送器通过高阶温度补偿模型就可实见对扩散硅压力变送器的温度补偿。关键词：扩散硅压力传感器；温度补偿模型；最小二乘回归法中图分类号：TH812文献标识码：ADOI：10．3969／j．issn．1671—1041．2016．04．001文章编号：1671-1041(2016)04-0005-03CompensationTechnologyofDiffusedSiliconDigitalPressureTransducerMengDandan，

3、ChenBing2,QinWen1．ZhonghuanTigCo．，Ltd，Tianjin，300384，China；2．TiaJ1jinInstituteforProcessAutomation&InstrumentationCo．，Ltd，300060，China；3．HebeiUniversityofTechnology，Tianjin，300130，China)Abstract：Diffusiblesiliconpressuretransducerhasadvantagesofhighmeasureprecisionandfast

4、dynamicresponse．Theperformancesofthetransducercanbeafectedbytemperature．itcausedtheproblemofthezerotemperaturedriftandsensitivitydrift．Sothetransducerneedstobecompensatedbytemperature．Thesoftcompensationsolutionandcompensationalgorithmaleproposed，Firstestablishthetemperat

5、urecompensationmodelofthediffusiblesiliconpressuretransducer，andtheindustrycomputerusingleastsquaresregressionmethod(PLSR)tocalculatesthetemperaturecompensationcoeficient，andsendthecompensationcoeficienttothetransducerbyHARTcommunication，thenthetemperaturecompensationofth

6、ediffusiblesiliconpressuretransducerisrealizedbythehighordertemperaturecompensationmode1．Keywords：difusiblesiliconpressuretransducer；temperaturecompensationmodel；PLSR0概述力变送器的输出线性度和精度，提高了压力变送器在全温度范围内的稳定性和可靠性。扩散硅压力变送器具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点，但容易受温度影响，导致零点漂移和灵敏度漂1温度补偿系统原理移_1]。测量值

7、和真实值存在着误差，因此温度补偿问题是扩散硅压力变送器的温度补偿系统的硬件控制系统框图提高传感器性能的一个关键环节。目前扩散硅压力传感如图1所示，图1以两线制带HART通讯的压力变送器为例。器主要有两种温度补偿方法：硬件补偿和软件补偿。硬件工控机通过温度采集板卡采集放到温控箱里温度传感器的温补偿方法存在调试困难、精度低、成本高、通用性差等缺点，度，并通过GPIB总线对温控箱进行温度调节。气泵、增压不利于工程实际应用；软件补偿能够克服以上缺点，也逐泵和压力控制系统为压力变送器提供压力，工控机通过压力渐成为研究热点】。检测系统检测气体的压力值

8、，并根据此压力值调节压力控制目前软件补偿主要有：查表法、二元插值法、BP神经系统为压力变送器提供稳定的压力源。压力变送器在温控箱网络法、小波神经网络方法、曲线曲面拟合方法等H】。查里整齐排列，