微通道液冷冷板矩形槽道铣削工艺实验研究.pdf

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1、微通道液冷冷板矩形槽道铣削工艺实验研究吕景祥赵高波成宏军(西安导航技术研究所，陕西西安710068)摘要：随着电子器件集成化、小型化的发展，电子设备封装密度增大、体积缩小，热流密度急剧增加，对冷却技术提出了更高的要求。微通道液冷系统能够大幅度提升设备冷却能力，满足电子设备日益增长的冷却需求。目前微通道加工的主流方法是高速铣削，然而微通道具有肋片宽度窄、通道直径小、通道高宽比大的特点，切削加工效率低下，且容易造成刀具折断。针对以上问题。分别选择0．2mill、0．3mm、0．4mm和0．5mm宽的微小槽道

2、进行／j~-r-实验，并在不同切削参数组合下进行微通道铣削。通过切削实验和可行的微通道加工尺寸方案和刀具不折断条件下的合理切削参数，提高了微通道加工效率。关键词：微通道；铣削；加工尺寸；切削参数中图分类号：T(44文献标识码：AExperimentalstudyonmillingrectangularchannelofmicrochannelliquidcoolingcoldplateLVJingxiang，ZHAOGaobo，ChengHongjun(Xi’anResearchInstituteofN

3、avigationTechnology，Xi’an710068，CHN)Abstract：Withthedevelopmentofintegrationandminiaturizationofelectronicdevices，theelectronicequipmentpackagingdensityincreasesanditsvolumeisreduced，whichleadstoasharpincreaseinheatflux．Thishasputforwardhigherrequirement

4、soncoolingtechnology．Microchannelliquidcoolingsystemcangreatlyenhancethecoolingcapacityofelectronicequipmenttomeetthegrowingcoolingneeds．Currently，themostcommonlyusedmethodtoprocessmicrochannelishigh—speedmilling．Duetothenarrowfins，smallchanneldiameteran

5、dhighaspectratioofmicrochannel，thecuttinginefficien—cyislowandthecuttingtooliseasilytobreakduringthecuttingprocess．Tosolvetheseproblems，mi—crochannelswiththewidthof0．2mm，0．3mm，0．4mmand0．5mmareselectedforcuttingexpefi—ment，andthemicrochannelsaremilledwith

6、differentcombinationsofcuttingparameters．Fromcuttingexperiments，thefeasiblemachiningdimensionsofmicrochannelandthereasonablecuttingparameterswhichimprovetheprocessingeficiencyofmicrochannelswithouttoolbreakageareobtainedKeywords：microchannel；milling；mach

7、iningsize；cuttingparameters20世纪中后期，随着集成电路、大规模集成电路的出现，电子器件的组装密度越来越高，致使电子设备[6]EgashiraK，HosonoS，TakemotoS，eta1．Fabricationandcuttingper-[10]SteinJM，DorufeldDA．Burrformationindrillingminiatureholes[J]．formanceofcementedtungstencarbidemicro—cuttingtools[J]．P

8、reci—CIRPAnnals—ManufacturingTechnology，1997，46(1)：63—66．sionEngineering，2011，35(4)：546—553．第一作者：张好强，男，1979年生，博士，已发表论[7]FuLianyu，LiXueguang，GuoQiang．Developmentofamicrodrillbit文近20篇，主要研究方向为绿色制造与先进制造withahighaspectratio[J]．