多光束激光干涉图案的相移控制方法研究.pdf

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1、分类号LDC：密级：——编号：——多光束激光干涉图案的相移控制方法研究Phase．shiltControlinMulti．beamLaserInterferenceLithography学位授予单位及代码：量查堡王盔生f1Q!墅2学科专业名称及代码：鱼王型堂皇蕉查!Q8Q!QQ2研充方向：盘皂篮壁当堂皇拯型堇盔申请学位级别：塑—L指导教师：王监壅熬攫研究生：篮—j＆L论文起止时司：—2009．11--—2010．12长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《多光束激光干涉图案的相移控制方法研究》是本人在指导教师的指导下，

2、独立进行研亢工作所取得的成果。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名2生业年三月五日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CSKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以

3、将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。储貉越醚逊年立一卫a导师签名：丕型≥盈业年丛月卫日摘要随着微细加工行业的日益增长的需求，多种光刻技术也得到了发展，其中包括激光干涉纳米光刻技术。在激光干涉纳米光刻技术应用中，经常需要制造大面积或高密度纳米表面结构，因此，为了保证光刻图形的精确性需要对相移进行精确的控制。本文讨论的是在多光束激光干涉纳米光刻系统中采用移相定位系统实现干涉图案相移的方法研究。主要是在两光束或多光束激光干涉纳米光刻系统中，将两束或多束相干激光光束组合迭加．发生干涉。通过

4、控制一个或多个移相定位系统使光路的光程发生改变，实现干涉图案的相位移动及定位。移相定位系统可通过电压源电压的改变．在与入射光垂直平面方向推动一个光楔或通过电压源电压的变化．在与入射光垂直平面方向控制一个液晶显示器件(LCD)．或通过电压源电压的变化，控制一个驱动器拉伸光纤实现干涉图形的相移等。在本文中，移相定位系统由电压源、位移驱动器和反射镜组成。通过给位移驱动器施加不周的电压，使其驱动反射镜沿着它的轴向方向移动，通过改变光程实现相位移动及定位这种移相的系统可蚍通过检测干涉图形的相位差采用反馈(如锁相)控制干涉图形的相位移动．减少相位漂移使图案定位更

5、精确。关键词：纳米技术激光干涉光刻移相定位系统相移控制ABSTRACTWlththeincreasingdemandsfrom1ndustriesforfabricarionofnewmicroandnaDomalerials．d“ricesandSVslemslaserInterfefencenanolithographytechnologyhasbeendevelopedInlaserinterferencenanolithograohyapplicationslargeareaorhighdensity／]{ff／o．surfacest／2／c

6、t／2resaleoftenrequiredThereforetheprecisenbaseshifisbouldbecontrolledtoensuretheaccuracyofInterferencepanemsThisdissertationpresentsthemethodofnhase—shiftcontrollnamulti—beamlaserinterferencenanolithographysystemusingaphase—shiftpositioningsystemtoachievephaseshiftcontrolInthet

7、wo-beanlormulti—beamlaserintefferencenanolitho口aph3systemtwoormorecoherentlaSerbeamscombineandinterkre．bycomrollingthephase-shiftofthephase—shiftpositioningsystemtochangetheopticalpathlengthtoachievethephase．shiftofInterferencepatternsandpositionsPhase-shiftcarlbeIntroducedbva1

8、1opticalwedge．LCDandfiberelementlnlaserInterferenceInt