x射线定向仪的稳定度测定及分析

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1、X射线定向仪的稳定度测定及分析       1、概述       ×射线定向仪是对单晶体的各晶面在空间相互排列角度进行精密测定的一种光学检测仪器。它实质是方程式n入=2dsine一种表达形式。用3～4倍的铜靶X射线管的激发管电压(30kV)，利用铜靶的ka特征谱线(波长入=O．154nm)投射到已知单晶体晶面上，在已知晶面距d值的基础上，则符合上述方程式的条件，而产生X射线衍射，该衍射由盖革计数管探测器接收，通过光电转换积分放大，输送到微安(LlA)表上，显示出最大值，这时在定向仪的测角仪上读出的角度e7与理论衍射角e相比较，求出新测晶面角e7与理论晶面角e的偏差。偏差越小越

2、接近理论晶面角则制做出的晶体器件性能越好。       2、测定X射线定向仪稳定度的意义       X射线定向仪是用在单晶体(SiO，、Si、Ge等)加工生产线上，每次连续使用长达4～8小时，因此对X射线定向仪连续工作稳定度的要求很高，它的波动直接影响被测晶面角偏差，直接关系到晶体器件的放大倍数和振荡率等重要指标，所以对我国的电子事业的发展起到关键作用。       3、测定X射线定向仪稳定度方法       (1)将X射线定向仪调整到正常工作状态，装上47的狭缝(双晶体定向仪不加狭缝)。利用S102(石英)标准晶体，将晶安装在样品架上，选定管电压30kV、管电流1mA的X

3、射线辐射条件。调整样品架(e)转角，使IJA表指示值最大，然后调计数率仪使LlA表的显示值不小于满刻度的95％，：起始值为满刻度的10％：设置角度e=13。20’(铜靶x射线管，Si0：(1011)晶面Ka衍射角)。       (2)首次记录下uA表指示数值，以后每6分钟记录下一个IJA表指示数值，连续测定8小时。       4、数值处理及结果分析       通过X射线定向仪稳定度的测定过程和测定结果分析，说明如下三个问题：       (1)开始为95，记录4个数值以后逐渐向下漂移，而趋于稳定，说明X射线定向仪在工作前需要预热20～30分钟。       (2)为了保

4、证高指标高灵敏度条件下工作，开始时IJA表指示最大值应为满刻度的95％～97％。       (3)说明X射线定向仪高压变压器的输入端应设有稳压装置，稳压装置的电压波动不能大于2％，这样可保持X射线定向仪长时间稳定地持续工作。       (2)检定时间的确定。