半导体制造企业清洁度、纯净度要求.doc

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1、半导体制造企业清洁度、纯净度的调查报告一、清洁度清洁度表示零件或产品在清洗后在其表面上残留的污物的量。一般来说，污物的量包括种类、形状、尺寸、数量、重量等衡量指标；具体用何种指标取决于不同污物对产品质量的影响程度和清洁度控制精度的要求。产品是由零件经过设备加工装配而成，所以清洁度分为零件清洁度和产品清洁度。产品的清洁度与零件的清洁度有直接的关系，同时还与生产工艺过程、车间环境、生产设备及人员有密切关系。二、纯净度（洁净度）洁净度的理解洁净度指洁净空气中空气含尘（包括微生物）量多少的程度。生产环境洁净半导体器件生产环境

2、要求很严，要求恒温、恒湿，按单位体积中规定的尺寸灰尘粒子为标准分成洁净度的等级。一般分为10级、100级、1000级、10000级、级。某公司车间扩散间是1万级，其它区域是洁净度以每立方米（或叫每立方英尺）空气中的最大允许粒子来确定。等级名称为每立方米空气中大于等于0.5微米的最大允许粒子数的常用对数值（以10为底），(英制单位是等级名称为每立方英尺空气中大于等于0.5微米的最大允许粒子数)。UltraCleanTechnology是关键子系统（包括半导体和平面显示器工业中的流体和气体配给系统）的最大供应商之一。该公

3、司的技术副总裁兼技术总监SowmyaKrishnan博士说，该公司在全球四分之一的工厂都建了这些系统，每个系统都拥有几千平方英尺的洁净室。洁净等级在1级（ISO3级）到1000级（ISO6级）之间，真正地实现无污染、无粉尘的系统生产。检测（颗粒测试仪）1）浮游粒子洁净度的检测（颗粒测试仪）采样：任何洁净区的取样点不少于2个，除受洁净区划内的设备限制外，取样点应在整个洁净区均匀分布，每个选定的取样点应至少取样一次。在一个区内总共应最少取样5次，每个取样点取样应多于一次，而不同的取样点取样次可以不同2）取样量度和取样时间

4、：取样量不少于0.00283立方米（合0.1立方英尺），并且计算所得取样量结果不得四舍五入。取样时间可以用取样量除以取样速率来计算。洁净度洁净室达到洁净度要求的必要条件一、送风洁净度：要保证送风洁净度符合要求，关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。按我国标准规定：高效过滤器效率分四档:A类为≥99.9%，B类为≥99.9%，C类为≥99.999%，D类为(对≥0.1μm粒子)≥99.999%(亦称超高效过滤器);亚高效过滤器为(对≥0.5μm粒子)95~99.9%。

5、效率越高，过滤器的价格也越贵。100万级可选用高中效过滤器;低于1万级可选用亚高效或A类高效过滤器;1万~100级选用B类过滤器;100~1级选用C类过滤器。二、气流组织1)垂直单向流:只适用于4m以上高大洁净室，对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式仅适用两侧净间距小于6m的洁净室;单侧墙下部布回风口仅适用对墙间距较小(如≤<2~3m)的洁净室。2)水平单向流:仅适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室;送风墙局部布高效过滤器较满布水平送可减少高效过滤器用量，节约初投资，但局部区域有涡流

6、。3)乱流型气流:高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点，但洁净气流扩散缓慢，工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时，也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下，扩散板易积尘。三、送风量或风速100万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑，其余均按高效净化系统考虑;当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时，可适当提高换气次数10-20%。四、静压差我国洁净室建设初期由于围护结构密闭性较差，要维持≥5Pa

7、的正压就要2~6次/h送风量;目前维护结构密闭性已大为提高，维持同样的正压只要1~2次/h送风量;维持≥1OPa也只要2~3次/h送风量。我国设计规范规定:不同等级的洁净室以及洁净区和非洁净区之间的静压差应不小于0.5mmH2O(~5Pa)，洁净区与室外的静压差应不小于1.OmmH2O(~l0Pa)。