精密激光刻蚀技术的原理及其典型应用.docx

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1、精密激光刻蚀技术的原理及其典型应用激光刻蚀技术原理激光刻蚀的基本原理是将高光束质量的小功率激光束（一般为紫外激光、光纤激光）聚焦成极小光斑，在焦点处形成很高的功率密度，使材料在瞬间汽化蒸发，形成孔、逢、槽。其加工工艺包括激光微纳切割、划片、刻蚀、钻孔等。激光刻蚀技术特点激光刻蚀的特点是利用激光具有的无接触加工、柔性化程度高、加工速度快、无噪声、热影响区小、可聚焦到激光波长级的极小光斑等优越的加工性能，获得良好的钻孔、划片、刻蚀和切割尺寸精度和加工质量，尤其是与某些材料（如聚酰亚胺）相互作用是属于“光化学作用”的“冷加工”，可获得无碳化效果，在电子

2、半导体材料加工中应用十分广泛。拓普银光电激光刻蚀参数表激光波长355nm激光器重复频率10kHz~100kHz连续可调综合加工精度±20μm功率稳定性＜2%工作台尺寸（可选）标准台面：460mm×310mm×100mm振镜校正方式全自动快速校正定位CCD定位，具有自动光斑和涨缩补偿。资料处理方式支持加工文件格式：Gerber,CAD,CAM焦点偏移根据板厚不同，可自动调焦，达到质量效果。稳定性24小时连续工作无故障。质量检测可采用CCD进行人工检测无冲突；争取采用CCD在线进行检测，以达到质量检测效果并提升效率工作环境温度20℃±1℃工作环境湿度

3、振动40％~80％，无结露紫外激光刻蚀技术典型应用1）薄膜激光刻蚀应用优点：  高重复率，高功率 快速材料去除率 无化学腐蚀对环境的污染ITO镀膜激光刻蚀机是由激光对ITOGlass和ITOFilm上的ITO镀膜实施电极刻蚀加工的精密设备。可在玻璃、PET基底上ITO镀膜、多晶膜和其他氧化物薄膜上大范围内进行各种图案，各种尺寸的精密、高速刻蚀，加工多种电极。尤其适用于手机触摸屏的电极刻蚀。2)太阳能电池激光划片应用优点： 整机结构合理、划片速度快、精度高、功能全、合项性能指标稳定可靠，故障率低非接触加工加工成品率高，适用面广操作简单方便，能24小

4、时长期连续工作，节能环保采用图形化用户界面（GUI），友好的人机界面，可实时显示切割轨迹，操作简单直观 可选配图像自动识别处理和定位功能太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。薄膜太阳能电池生产的流程：准备基板（TCO导电玻璃）——玻璃磨边——玻璃清洗——1064激光划线——二次清洗——装夹具升温预热——PECVD沉积非晶硅膜——冷却卸夹具——635激光划线——PVD磁控溅射AL——635激光划线——测试——老化——激光清边——三次清洗——焊电极线——层压——装边框。对薄膜太阳能电池进行激光划片，热影响区小，划线质量优越

5、。无接触式加工避免刀片加工产生的应力，可以有效提高硅片改片的优等品率，同时对电池片划线质量也有很大的改善。可选配CCD图像处理系统，实现特殊规格电池片的精密划线。3)激光清边 优点：不需使用任何化学药剂和清洗液，绿色环保 非接触式清洗，无机械作用力，无变形，效率高，节省时间 可达到常规清洗无法达到的清洁度 还可在不损伤材料表面的情况下有选择性地清洗材料表面的污染物激光清边速度快并且无污染，通过界面友好的专用控制软件，可完成多路激光同时工作。可用于非晶硅薄膜太阳能电池板周边镀膜的刻线绝缘、扫除和清理。