布鲁克台阶仪资料--中文彩页.pdf

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1、DektakXT第十代探针式表面轮廓仪InnovationwithIntegrityDektakXT布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性功能卓越，极致表现高达5Å。这项测量性能的提高，达到了过去四十年Dektak体系技术创新的顶峰，更加稳固了其行业中的领先地位。不论应用于研发还是产品测量，在研究工作中的广泛使用使得DektakXT的功能更强大，操作更简便易行，检测过程和数据采集也更加完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体

2、，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。DektakXT技术参数：台阶高度重复性5Å—单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性—先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标准—新的硬件配置使数据采集能力提高了40%—64位的Vision64同步数据处理软件，将数据分析速度提高十倍。功能卓越，操作简易—直观的Vision64用户界面操作流程简便易行—自对准式探针设计使得更换探针的步骤简便易行探针轮廓仪业界翘楚，无可匹敌的价值—性能优异,物超所值—独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量技术创新四十余载，不断突破勇攀高峰过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产

3、一直在理论和实践上不断实现创新性成果——首台基于微处理器控制的轮廓仪，首台实现微米测量的台阶仪，首台可以达到3D测量的仪器，首台个人电脑控制的轮廓仪，首台全自动300mm台阶仪——DektakXT延续了这种开创性的风格，全新的DektakXT成为世界上第一台采用具有单拱龙门式设计，配备全彩HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。世界范围内有成千上万台Dektak系列产品应用于各个领域，它们以优质，可靠，高效等诸多特性而得到赞誉。人们为了得到精确无误的台阶高度和表面粗糙度信息，首选使用Dektak来进行测量。这里，我们通过介绍DektakXT的各

4、项功能，帮助您可靠高效地完成表面测量工作。DektakXT设计完美，性能卓越台阶仪性能优劣取决于以下三方面:测量重复性,测试速度和操作难易程度，这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和最优化的测量及数据处理软件来实现可靠、快速和简易的样品检测，达到最佳的仪器使用效果。提高操作的可重复性DektakXT的多处领先设计保证了其无人能及的表现,达到优于5埃的测量重复性.使用单拱龙门结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker完善了仪器的智能化电子器件，提高了其工作性能

5、的稳定性，降低温度变化对器件的影响，并且采用最先进的数据处理器。在控制器电路中使用智能敏化电子器件,会把DektakXT的单拱龙门设计和智能敏化器件联用，系统和环境噪音引起的测量误差降到最低。因此采用降低基底噪音，提高测量性能。DektakXT测量系统，能够更稳定可靠地扫描高度小于10nm的台阶，获得其形貌特征。单拱龙门结构和智能器件的联用，大大降低了基底噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的表面轮廓仪。提高测量和数据分析速度首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台,DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次扫描的间隔时间。这一改进，提高了进行大范围

6、3D形貌表征或者表面长程应力扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker具有64位数据采集同步分析的Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速DektakXT独特的传感器设计使得在单一平台上即可实度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。现超微力和正常力测量Vision64还具有最有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。DektakXT采用Bruker64位数据采集及同步分析的软件系统Vision64，可以将大范围

7、3D形貌图的扫描和处理速度提高一倍简便易行的实验操作系统为了便于操作可供多用户使用的系统，一个必要条件就是能够迅速简便地更换不同模式所需要的探针。DektakXT新颖的探针和部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。这一改进使原来费时耗力的实验步骤变得简便易行。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针，其中包括专为深槽测量定制的高深宽比的探针。完善的数据采集和分析系统与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision6