MEMS压力传感器是压力传感器行业发展的主流方向).doc

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1、MEMS压力传感器是压力传感器行业发展的主流方向近二十年来，压力传感器行业明显加快了压阻式替代淘汰应变式、厚膜陶瓷式压力传感器，MEMS技术逐步成为产业化的主流。1.MEMS压力传感器的优势：目前，MEMS压力传感器是传感器发展的主流方向，未来将替代传统各式传感器。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。2.MEMS压力传感器的两大分类：MEMS压力传感

2、器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看，MEMS压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。3.发展MEMS压力传感器的现实需要：我国众多自动化方面的专家呼吁：目前复杂系统越来越复杂，自动化已经陷入低谷，其主要原因之一是传感技术的落后，一方面表现为传感器在感知信息方面的落后；另一方面也表现为传感器自身在智能化和网络化方面的技术落后。另外，分析仪器产业迫切需要新型传感器。分析仪器是我国科技、经济和社会持续发展的基础，无论在工业过程控制、设施农业、生物医学、环境控制、食品安全

3、乃至航空航天、国防工程等领域，均迫切需要各类新型传感器作为信息摄取源的小型化、专用化、简用化、家庭化(甚至个人化)的新一代分析仪器，实现更灵敏、更准确、更快速、更可靠地实时检测，以迅速改变我国分析仪器的落后状况。