透射电镜介绍说课材料.ppt

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1、一概况透射式电子显微镜(TransmissionElectronMicroscopes)简称透射电镜。原理：利用磁透镜对穿过样品的电子束进行放大，这种电子束带有样品中的超微结构信息，可以在荧光屏上显示超微结构的放大电子图像。特点：分辨率高：H-9500可达0.10nm放大倍数高：几百~数十万倍应用范围广：生物、医学、冶金、化学化工HITACHIH-7650HITACHIH-7700二结构1、电子光学系统照明系统镜筒成像系统观察记录系统电子枪聚光镜样品室物镜中间镜投影镜观察室照相系统结构1.1照明系统电子枪电镜以电子枪作为光源，相当于光学显微镜的照明可见光源。目前电镜大多采用由阴极、

2、栅极和阳极组成的三极式电子枪。阴极俗称灯丝，一般为直径0.12mm的钨丝制成弯曲或发叉式（也称V型）。通入加热电流时，灯丝尖端产生热电子发射，并在阳极电压作用下，将发射的电子加速到极高的速度。另外还有LaB6阴极和场发射钨单晶阴极，其亮度和寿命均优于前者。栅极由一个中央孔径d=2mm的圆金属筒构成。栅极水平面与灯丝尖端的距离h=0.5~1mm，并且在栅极上加有相对于阴极的负电位，因此也称负偏压栅极，用于有效地控制阴极（灯丝）的发射电流。阳极阳极电位为零，相对于阴极是正的加速电压。通常几十千伏~几百千伏，视不同要求而定，其作用是使电子加速。聚光镜聚光镜的作用是将电子枪所发射的电子束会

3、聚在样品上，控制照明亮度、电子束斑的大小及孔径角。构成：电磁透镜、聚光镜光阑、偏转线圈、消像散器等组成。OverfocusedFocusedUnderfocused(Secondcondenserlens)1.2成像系统成像放大系统是电镜获得高分辨率和高放大倍数的核心组件。一般由物镜、中间镜和两个投影镜组成。可通过调节中间镜和投影镜的电流来改变不同的放大倍数，改变物镜电流对图像进行聚焦。装上有关附件，还可进行扫描、电子衍射和能谱分析等方面的观察和测试。物镜(Objectivelens)物镜(Objectivelens)是成像放大系统的第一级成像透镜，其作用是将样品信息作初级放大，一

4、般放大倍数为50倍。物镜光阑(Objectiveaperture)RemoveapertureInsertaperture中间镜(Intermediatelens)中间镜和投影镜的作用是将来自物镜的初级像逐级放大，最后成像于荧光屏上。其结构与物镜基本相似，中间镜是长焦距弱磁透镜，投影镜是短焦距强磁透镜。利用改变中间镜和第一投影镜的电流来控制总放大倍数。投影镜(ProjectorLens)1.3观察记录系统荧光板双目镜底片盒底片传送装置控制暴光装置2真空排气系统真空系统的作用是使镜筒内部处于高真空状态，也是决定电镜能否正常工作的重要因素。如果真空度差，则：(1)导致气体分子与高速运行

5、的电子相互作用而随机地散射电子，降低图像的反差。(2)电子枪中所残存的气体分子会产生电离而放电，引起电子束发射不稳定或“闪烁”。(3)残余气体与热灯丝作用，缩短灯丝寿命。(4)残余气体聚集在样品上会污染样品。真空系统包括：机械泵、扩散泵等真空检测装置阀门和控制系统3电气系统高压电源透射电源偏转线圈电源真空系统电源照相系统电源安全保护电路谢谢