扫描电镜的结构原理课件.ppt

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1、第三章扫描电镜的结构原理ξ1扫描电镜的成像原理二次电子；特征X射线；背散射电子1电子束和样品的作用—信息携带者αl原子序数差异表面形貌ACB若：αC>αB>αA则:lC>lB>lA则:2eC>2eB>2eA2e能量较低(<50ev)厚度：只能从表面几十埃的薄层发出（<100埃）面积：只从约等于电子束斑照射的面积发出（几十埃）2反差的形成分辨率~探针尺寸aebfdc二次电子产率：a

2、(行)I(帧)t(时间)T(帧)扫描范围：行——I（行）帧——I（帧）扫描速度：行——T（行）帧——T（帧）扫描线数=T（帧）/T（行）ξ2扫描电镜的结构和工作原理电子枪：基本同透镜但工作电压较低10~20KV,<50KV）？逐级缩小50微米~几十埃？孔径角：球差（分辨率）景深电子束弱束班尺寸大，（分辨率）探测系统+250kv+12kv聚焦极闪烁体光光电倍增管电流放大电压2e正栅压（强度正对应）扫描发生器：*同步扫描（位置完全对应）*放大（衰减）显像管观察（荧光屏）：快扫描：？电子束在每点的驻留时间短，信噪比较低清晰度较差所需

3、扫描线数=T（帧）/T（行）=荧光屏高度/人眼分辨率=100mm/0.1mm=1000线纪录（底片）：慢扫描：？所需扫描线数=T（帧）/T（行）=荧光屏高度/底片分辨率=100mm/0.05mm=2000线（一）透镜实习思考题1如何找灯丝饱和点？2聚光镜有无像散，如何消？3观察聚光镜正焦，欠焦，过焦三种状态4观察插入不同聚光镜光阑对观察的影响5观察物镜光阑与图像反差的关系6图像有无像散，如何消？7判断是否聚焦的标准？8如何做低倍，高倍观察？9染色与非染色标本的图像反差10不同制备来源的标本观察