分子泵原理课件.ppt

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1、TMP—TurboMlecularpumpTMPPUMP基础知识机械轴承式分子泵磁悬浮轴承式分子泵分子泵的发展历史泵Turbomlecularpump透平分子在分子流状态下工作，使用机械动能，将气体分子定向压缩、流动的真空泵。分子泵的定义分子泵的分类一.从转子结构特征上区分涡轮分子泵1.牵引分子泵2一.从转子结构特征上区分分子泵的分类分子泵的分类涡轮分子泵复合分子泵牵引分子泵一.从转子结构特征上区分分子泵的分类二.从轴承特性上区分MDP5011（ALCATEL）VAC361（LEYBOLD）TG553VW（OSAKA）1.磁悬浮轴承分子泵2.机械轴承分子泵精工——STP系列EBARA

2、——TE1600系列莱宝——VAC340系列分子泵的基本特征1.运行时泵内涡轮回转的高速性通常其泵内转子工作时的回转速度为10000~60000rpm；最高可达到90000rpm.其泵的叶片顶端线速度通常在200m/s以上。所以运行时如果有异物进入或在进气、排气方向有超出其许容范围的突变气压，都将造成泵本体的损坏。有些甚至是不可逆转的。2.高真空性能通常其泵的真空压可以到达10¯3~10¯9pa3.组合性在真空系统中，分子泵通常必须同辅助泵（干泵、油旋转真空泵）组合后才能运行。（如下图）分子泵的内部结构主轴静片动片高频旋转马达外壳静片固定圈TURBO部分牵引泵部分下部磁悬浮电机辅助轴

3、承ABCD分子泵的系统组成（泵本体）分子泵的系统组成（在真空系中）真空腔体DRYPUMPV3V2V1分子泵的工作原理（一）一。按气体分子理论1.在正常的大气压下。每cm3空间气体分子为2.5-E19，此时其压力为760Torr=101325Pa2.大气环境下由于空间的气体分子密集，各气体分子间的平均自由程MFP仅为0.07微米，因而气体为粘滞流状态，气体分子几乎是在原地振动。分子泵的工作原理（一）1.随着真空度的提高，单位体积内气体分子的数量逐渐减少，MFP变大。当真空度达到1X10¯3Torr之后，其MFP接近5cm.气体分子呈现出“分子流状态”一。按气体分子理论分子泵的工作原理（

4、一）回转轴RVVrVhVVrVhVMFP动翼静翼分子泵的排气原理（一）转子转动特性（平面展开图）动片动片定片aba分子泵的排气原理（一）ZZ动片角与轴的关系：在泵内堆积的生成物。。。Vh动片定片外圈CONTROLLER生成舞易堆积区分子泵的轴控制原理五轴控制原理图Z轴磁场Z轴Sensor径向Sensor径向磁场径向Sensor2辅助轴承1辅助轴承分子泵的轴控制原理Y2X2Y1X1Z增幅回路补偿回路检出回路高频发生器径向位置检知Sensor轴向位置检知SensorX2-Y2检测平面X1-Y1检测平面Z检测平面控制器分子泵的N2PURGE….分子泵N2purge回路与主pumpin

5、g回路N2PurgeinGASIN排气口DEPOSITONGAS&N2PURGEGASOUTTMPPUMP启动顺序BreakeronAccelerationStateNormalOperationStatefExecuteSelftestLevitationStartStartpumpStoppumpBreakeroffSPEED2700~7000机械轴分子泵泵内结构图马达陶瓷轴承推进叶片机械轴承分子泵的Greaseup底部上部泵的轴承为什么会失效?润滑不足-太多-太少-污染载荷过大:-不对中动平衡不好-轴弯曲-等.....安装和操作的不当老化油膜厚度