纳米加工平台工艺加工及设备预约规则.doc

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1、纳米加工平台工艺加工及设备预约规则为了高效、有序的服务于科研，保证工艺线顺利运行、工艺设备安全和节约工艺线运行成本，依据加工平台实际条件，订立如下工艺设备预约规程：1.加工平台对外开放时间：8：30－22：00（周一至周日全天开放，法定假日除外）。2.预约对象：经过加工平台设备培训并考核通过的用户才能预约工艺。3.每周一至周六9：00—18：00各设备机时优先向加工平台客户开放。4.优先级较低的加工平台客户、加工平台成员参与的科研或生产项目有特殊紧急任务，可以由项目负责人提出申请并经加工平台主任批准确认后，在短期内提高优先级，完成紧急任务后优先级恢复原有级别。优先级提高

2、时间一般不超过一个月。5.若工作时间内设备机时无人预约，原则上客户不可预约晚上和周末机时。若机时紧张或工作需要预约晚上机时，需在当天下午17:00之前预约；预约周末机时，需在星期五下午17:00之前预约，不接收临时预约。6.连续两道工艺之间预约时间原则上必须相差2个小时以上，若连续两道工艺之间预约时差少于2个小时，由于前道工艺失败导致后道工艺取消，加工平台将全额收取后道工艺费用。7.同一课题预约单台设备机时每次不可连续超过4个小时，若当天设备没有预约可临时追加预约。8.除因设备原因导致一周内累计取消三次预约工艺的用户，平台将收取500元机时占用费并降低预约等级。9.如实

3、际使用时间少于预约时间，按预约时间收费。10.如使用设备时间超过预约时间，假如后面有人预约，前一个预约人员在征得后预约人员同意后可以继续使用设备，否则，无条件停止工艺执行，并对于无法马上停止的工艺造成的后面预约用户时间延迟负责。11.客户请按预约机时使用设备，因申请人原因不能在预约时间内开展相关工艺加工时，用户需提前取消预约机时，提前24小时及以上取消不收取违约费；12-24小时之间取消收取200元或者机时费用的50%（两者取其低）违约费；12小时以内取消收取全额机时收费。12.如客户未提前取消预约时间，超出预约时间15分钟没来使用设备，平台将取消此步工艺预约机时，并且

4、按照相关规定收取违约费；若不能按时使用，可在预约时间开始15分钟内告知设备负责人，平台将为用户预留预约机时。1.设备出现故障造成的机时延误平台不收取违约费，待设备维修好后，平台将另行安排机时。2.因申请人原因未能在预约时间内开展相关工艺加工时，申请人需重新预约。如由于设备故障等平台原因造成在预约时间内无法进行相关工艺，平台将尽力另行安排时间完成相关加工。3.部分测试设备平台将实行软件控制，客户经过培训并考核合格后，由平台工作人员告知张嫔为客户开通账号，获取账号的用户根据用户名登录，平台将根据登录时间收取费用，请各位用户使用完毕后，务必退出系统，以免造成不必要的损失。4.

5、客户未网上预约设备机时，将严格禁止申请人使用该设备。优惠对象仅限于经过平台培训并自己操作设备的工艺。5.最终解释权归加工平台。6.本规定自公布之日起开始执行。加工平台2017年1月1日