EBARA 维护操作手册.doc

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1、文件名称：EBARApump维护操作标准页次：6/6文件编号：生效日期：文件版本：制定单位：一、目的当需要进行对EBARApump进行维护时，提供的标准操作流程。二、适用范围对VEECOK465i机台的EBARApump适用。三、操作流程步骤充气至760AV184碟阀1.将机台进行shutdown状态，并在NEXUS界面，将chamber的气压调至760tor左右，然后关闭AV184，碟阀和EBARA上方的球阀。如图1图1文件名称：EBARApump维护操作标准页次：6/6文件编号：生效日期：文件版本：制定单位：2.关闭EBARA进气阀门，如图

2、2。注意：关掉进气手动阀后让pump继续运行30分钟，以防止pump内的副产物造成腐蚀或发生反应。图23、在LCD控制面板上按下STOP键，停止pump运转。如图3。注意：为了从pump中去除残余的工艺气体，在pump停止工作后用N2气体进行至少1小时的清洗，至少要让冷却水循环一小时以冷却pump。在pump关闭后，pump温度仍然很高，请务必小心操作。图3文件名称：EBARApump维护操作标准页次：6/6文件编号：生效日期：文件版本：制定单位：4.按下红色的紧急停止按钮，关闭pump的电源开关（机台后方的电源开关）。并停止冷却水和N2气体的

3、供应，如图4。图4文件名称：EBARApump维护操作标准页次：6/6文件编号：生效日期：文件版本：制定单位：5.拆除冷却水进出管，N2气管，电源接头，控制接头、EBARA的进气管道和排出的管道。如图5N2气管冷却水进出管,黑进红出进气管道控制接头电源接头出气管道图56.将pump移出机台，送至维护区进行拆开清理维护。7.维护完将EBARA移回机台，进行冷却水进出管，N2气管，电源接头，控制接头、EBARA的进气管道和排出的管道的连接，如图58.开启冷却水，打开水冷系统的进水阀和出水阀。文件名称：EBARApump维护操作标准页次：6/6文件编

4、号：生效日期：文件版本：制定单位：注意：每分钟必须达到3.5L9.打开氮气进气管路的N2气流。打开N2清洗阀。注意：要求N2流量达到20L/min10.缓慢地顺时针旋开N2调节器，将调节器压力设置为0.1Mpa。然后按下调节器旋钮上的红色限位器锁定，如图6。0.1Mpa图611.打开泵的外部电源和漏电保护，此时LCD控制器将显示10秒的倒计时文件名称：EBARApump维护操作标准页次：6/6文件编号：生效日期：文件版本：制定单位：12.按下LCD控制器上的Start按钮启动泵，主泵启动，MPRUNLED亮起。如图7图713.pump必须运行至

5、少30分钟，pump温度至少达到90℃后方可打开EBARA的进气阀。如图8图8