高精度双轴倾角传感器 SCA100T.doc

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1、高精度双轴倾角传感器SCA100TSCA100T是基于3D-MEMS技术的双轴倾角传感器系列，具有仪表级性能，用于水平垂直测量。其传感单元的测轴分别与水平和垂直面平行。具有低的温度影响，高分辨率，低噪声，抗干扰设计，是水平测量的理想选择。VTI公司的倾角传感器有超阻尼敏感单元，故可承受高达20000g的机械冲击。*（MEMS是微机电系统[Micro-Electro-MechanicalSystems]的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

2、）技术规格参数条件SCA100T-D01SCA100T-D02单位测量范围常温±30±0.5±90±1.0°g频率响应-3dBLP8-288-28Hz模拟量量程比例输出Vdd/2Vdd/2V校准误差±0.11±0.23°数字量程10241024LSB灵敏度0~1°之间7035mV/°灵敏度误差±0.5±0.5%灵敏度数字输出1638819LSB/g温度偏移-25~85℃（典型）-40~125℃（最大）±0.008±0.86±0.008±0.86°/℃灵敏度温度偏移-25~85℃（典型）-40~125℃（最大）±0.014-2.5~1±0.014-2.5~1%/℃%非线性

3、（典型）测量范围±0.11±0.57°数字输出分辨率0~1°之间110.035110.07Bits°/LSB输出噪声密度DC~100Hz0.00080.0008°/Hz模拟输出分辨率10Hz带宽0.00250.0025°比例误差Vdd=4.75~5.25V±1±1%横轴灵敏度最大44%长期稳定性<0.014<0.014°