中科院苏州纳米所实习报告.doc

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1、一、实习目的了解专业理论知识，了解相关微纳加工技术，包括光刻、薄膜沉积、刻蚀、CMP及封装工艺将理论与工艺操作结合，熟悉超净间工作环境，了解元器件加工生产工序和生产设备，加强理论跟实践密切相结合，提升专业素质和专业技能。二、实习单位及岗位介绍实习单位：中国科学院纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工公共平台实习岗位：工艺实习员岗位介绍：纳米加工平台是集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的多功能的加工平台。在纳米加工平台的工艺实习员在优秀的老师的指导下完成样品微米、纳米加工和检测，按照要求并做好记

2、录，完成必要的报告文献。三、实习安排周次日期安排第一周7.4乘车前往，办理入住事项7.5上午在苏纳所进行入所教育，下午参观超净间7.6加工平台综合培训，主要包括超净间的使用，平台安全事项的介绍以及常用小型设备的介绍三方面7.7清洗间培训以及清洗间实际操作的考核7.8综合培训考试第二周7.11理论培训，包括光刻，刻蚀，薄膜沉积以及封装等四项工艺7.12-7.15分组进入超净间实地学习，我们小组分配在203室Word资料第三周7.18-7.20小组轮换超净间，我们小组轮换到103室7.21上午职业技能考试，下

3、午分组汇报学习成果，颁发结业证书7.22办理手续，离苏返校一、实习容及过程7.4全班同学在老师的带领下一起乘车抵达，办理入住并熟悉周围环境。7.5入所教育及超净间参观一，苏纳所简介经老师介绍及相关资料的查询我了解到苏纳所的概况：中国科学院纳米技术与纳米仿生研究所（简称中科院纳米所）由中国科学院与省人民政府、市人民政府和工业园区共同出资创建，位于风景秀丽的工业园区独墅湖科教创新区。根据中国科学院调整科技布局的规划，面向国际科技前沿、战略需求与未来产业发展，开展相关领域基础性、战略性、前瞻性研究。建设公共技术

4、平台，为我国现代制造业与高新技术产业发展不断提供新的知识与技术，发挥研究机构的骨干与引领作用。当前主要的研究容：信息领域，能源领域，环境领域，生命与医学领域。老师同时也为我们介绍了苏纳所研究生招生，待遇，以及发展等情况。二，纳米加工平台Word资料老师首先为我们介绍了微电子技术整体的发展：从1947年肖克利团队发明第一个锗晶体管到60年代后集成电路的出现及发展，一直到今天仍在蓬勃发展的超大规模集成电路，微电子技术在人类社会信息化的过程中起到了不可替代的巨大作用。而在发展过程中它又衍生出许多的交叉学科，如微

5、机电系统，生物芯片等，也都是具有广阔应用前景的技术。纳米加工平台的定位及特色：国际先进水平，面向国外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台。加工精度最小为10nm。纳米加工平台的加工能力：微纳米电子器件，光电子器件，微纳光机电系统，生物传感器及生物芯片，化合物半导体器件。平台设备概况：主要包括镀膜，刻蚀，光刻，掺杂，封装等工艺的设备。平台现阶段研究方向：宽带隙半导体材料与器件（主要包括功率器件，InP光电器件以及微电子机械系统），新型信息功能材料及器件（自旋电子器件，可用于非易失性存储器，传感器，硬盘

6、，自旋发光二极管，微波器件，自旋晶体管等），二维材料纳米器件。三，超净间参观老师带领我们参观了超净间一楼及二楼的几个实验室，简单介绍了相关的一些仪器及注意事项，着重提到了清洗间，灰区，黄光室等。7.6加工平台综合培训（超净间的使用，安全知识，常用小型设备介绍）一，超净间的使用（主要包括超净间使用指引，超净间进出步骤，超净间管理规定，设备预约四方面）Word资料超净间使用指引：老师解释了纳米加工平台用户培训的流程，介绍超净间每个楼层的具体布局。每个实验室旁边都有一个灰区，用来存放相关的设备和器材，清洁度要求

7、比超净间低，可以节约一定的能源，同时一些有毒有害物质也存放在里面，所以一般非工作人员禁止进入，非紧急情况禁止进入。每一层都有两个安全门。超净间进出步骤：穿一次性鞋套（不能将未穿鞋套的脚放置在鞋柜或将穿鞋套的脚放置在鞋柜外）—指纹门禁（严禁一人按指纹多人进入）—一次更衣—二次更衣（口鼻完全遮住，头发不外露，手腕不外露）—风淋室，出来步骤相反，但二次更衣手套要最后一个脱掉。超净间管理规定：听从平台工作人员的指导和指示，平台工作人员有权纠正违反加工平台规章制度人员的行为。使用设备时，如存在任何疑问，应及早主动与

8、平台工作人员沟通或咨询。除在相关工作区域作业外，不能随意走动。非紧急情况严禁进入灰区。湿法腐蚀只能在清洗间进行。光刻间（104和105）限制人数，无工艺者不能进入。未经平台规定的培训并考核合格及预约人员不得擅自操作任何设备。未经许可，严禁挪动任何设备、仪器和装置。工艺之前必须进行网上预约。未经许可，除待加工样品、光刻版外严禁带入任何物品。在超净间严禁吸烟、拍照、摄像、饮食、接打手机。必须保持工作环境整洁有序。在非紧急状况下，严