掩膜版(mask)的制造.pdf

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1、掩膜版（mask）的制造2016-05-08目录1净化车间相关基础2掩膜版制作流程3其它相关内容1.净化车间相关基础洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或净化车间。「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。目前公司光刻室温度控制在23±0.5℃、其它洁

2、净室温度控制在23±1℃，相对湿度控制在45%～70%RH。1.净化车间相关基础洁净室洁净度等级的定义洁净度等级（Class）目前有公制和英制两种定义方式1）公制定义方式：每立方米空气中含有大于或等于直径为0.5цm的尘粒总数，用10m表示。如果无尘室每立方米空间含有大于或等于直径为0.5цm的尘粒1000粒，10m=1000=103，那么该无尘室就被称为M3级。2）英制定义方式：即直接用该区域每立方英尺空气中大于等于直径为0.5цm的尘粒个数作为定义标准。ISO14644-1标准1.净化车间相关基础IS

3、O14644-1标准1级10级1100级101000级10010000级100010万级10000∑单位换算：1m3=35.3ft3；1ft3=28.3L；NewWay使得的粒子计数器是吸气量2.83L/Min；∑各行业对洁净室等级要求存在较大差异；（如LCM、LCD、IC等）感性认知一般自然界气体等级外大气层1,000大气层10,000田园地带100,000街市区1,000,000工业地带10,000,000理性认知1.净化车间相关基础1.净化车间相关基础∑HEPA（HighEffucencyParti

4、culateAir-filter）（FFU）0.3um的微粒子捕捉率至少为99.97%；∑ULPA（UltraLowParticulatePenetrationAir-filter）0.15um的微粒子捕捉率至少为99.9995%；1.净化车间相关基础彩钢板泡沫彩钢板（夹心板）岩绵彩钢板（夹心板）【需远离明火】【防火、隔热、隔音】2.掩膜版制作流程掩膜版的分类铬版：（精度高、耐用、价格高）干版（精度适中、耐用性适中、价格适中）掩膜版（mask或光罩）菲林（精度低、不耐用、价格低）凸版（APR)版（主要用来

5、转移PI液等）2.掩膜版制作流程图案形成工程检查修正工程客激光光光光清户光罩罩罩罩洗数曝化尺缺缺包据光学寸陷陷装处描制量检修出理绘程测验补货图档处理生产品质2.掩膜版制作流程掩膜版的图像形成流程（除曝光外，其它与一般的黄光过程类似）Step1Step2BlankconfigurationExposurePhoto-resistdevelopPhoto-resistCrfilmQuartzStep3Step7Step4AOIPhoto-resiststripWetetch2.掩膜版制作流程曝光过程：掩膜版的

6、曝光过程与一般产品的的曝光差异最大的地方，就是一般的曝光，都是整版一次性完成；而掩膜版的精度要求非常高，需要使用激光束（或电子束）逐行扫描的方式来完成，因此，曝光一片掩膜版，需要相当长时间。2.掩膜版制作流程AOI（AutoOpticalInspection，自动光学检查）由于掩膜版的高精密性，图形非常细小，而诸如断路、短路等缺陷，则会造成下游使用客户的致命缺陷，因此，需要使用缺陷扫描能力强的AOI设备来对掩膜版的缺陷进行检查以确保掩膜版的品质。2.掩膜版制作流程铬版存放要求铬版为硬掩膜版，为防止其变形，

7、需要竖直存放。为了保证掩膜版表面的洁净度，一般要保存在1000级以上的无尘室内，温度：20~26℃，湿度需维持在40-60%RH以内，静电电压控制在500伏以内。因为铬版的基材是玻璃，如果需要对铬版长期保存，则需要保持在干燥的环境里，以防止玻璃出现发霉现象，影响光学性能。为了尽可能地避免划、碰伤，影响寿命，使用时要轻拿轻放，曝光前必须对光检查铬版表面是否有硬性颗粒，在曝光过程中也需要经常用净化后的压缩气体清除铬版表面的玻璃碎片。使用完毕后，应将铬版表面重新清洗洁净，干燥后再保存。2.掩膜版制作流程铬版存放

8、要求在柜子顶部加三个离子风机向下吹，同时在第二层的平台上打通孔，以便于离子风可以垂直往下吹，同时对第一层空间也进行静电的消除预防。3.其它相关内容铬版原材结构从膜面看：表观看起来比较暗，呈深褐色光阻P/R~7000Ǻ氧化铬Cro~500Ǻ铬Cr~700ǺGlass从非膜面（玻璃）看：表观看起来银亮色，可以清楚看清反射物体类似于镜子一样3.其它相关内容铬版原材玻璃，依材质分类：苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃；RigidityMat