太阳能多晶电池片生产流程简介.ppt

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1、多晶电池生产流程简介陈红2009年9月18日多晶硅片上下工序对电池的影响组件多晶晶锭3晶锭生产流程备料坩埚准备装料装炉拆锭晶锭检验包装1.备料晶锭生产工艺流程介绍每包5Kg5坩埚外观检验坩埚喷涂坩埚烘烤2.坩埚准备（周期：21h）晶锭生产工艺流程介绍喷涂氮化硅，用于隔离晶锭和坩埚氮化硅帖服在坩埚上检查有无破损63.装料4.装炉装料装炉晶锭生产工艺流程介绍按照合适比例将重掺硅料和正常硅料放入坩埚中.一般多晶不会出现电阻率不均匀现象,因为是先熔化后拉晶.75.DSS运行（运行周期：DSS24058h、DSS45063h

2、）铸锭过程中，DSS炉运行配方分为5步：1）加热2）熔化3）长晶4）退火5）冷却多晶铸锭晶锭生产工艺流程介绍86.拆锭7.晶锭检测拆锭晶锭检测晶锭生产工艺流程介绍产品规格：a、845*845*260mm（450）b、690*690*240mm（240）主要性能参数：c、P型，电阻率0.5-3Ω·cm；d、少子寿命>1μs；e、氧含量≤1.0×1018atoms/cm3，碳含量≤5×1017atoms/cm39多晶硅片10硅片生产流程晶锭粘接线开方线开方去胶IR测试Lifetime测试截断磨面倒角晶棒粘接线锯预清洗、

3、脱胶清洗甩干分选包装硅片生产工艺流程介绍1、晶锭粘接喷涂式泡沫胶此为线开方辅助工序，将晶锭粘到线开方定位晶托上，准备开方。2、线开方金刚砂:学名绿碳化硅；悬浮液:简称切削液，学名聚乙二醇；砂浆按切割密度要求的配比混合图1为正在烘箱中的金刚砂图2为正在配制砂浆的沙浆缸硅片生产工艺流程介绍线开方砂浆配制：此为线开方前道辅助工序，先将金刚砂放入烘箱内90度温度烘12小时，然后按要求将定量悬浮液金刚砂放入砂浆缸内均匀搅拌12小时方可使用2、线开方上棒:硅片生产工艺流程介绍切割:硅块清洗机将开方好的晶棒连同晶托一起取下放入8

4、0度热水中，将晶托与晶棒分离卸棒清洗:从粘锭处领取上一工序粘接好的晶锭，通过叉车将晶锭装到外置工作台上，再通过手摇车将晶锭送入切割室内线切割原理:砂浆中的金刚砂附着在高速转动的钢线上磨削形成切割.一次可以切割25根晶棒.3、线开方去胶将开方后的晶棒放入清洗机中清洗后，将晶棒依次取下，再用铲子将晶棒和晶托上的胶铲掉放到待检区，检验尺寸，合格后准备进入下一工序；硅片生产工艺流程介绍IRGT红外探伤测试仪lifetimeSEMILAB少子寿命测试仪WT-2000PSEMILAB电阻率测试仪RT-100电阻率硅片生产工艺流

5、程介绍4、测试电阻率在开方后，每一硅锭（25根硅棒）抽五根量测头中尾各一点（取晶锭四角及中央晶棒）Lifetime在开方后，每硅棒都量测，确定无效头尾位置，用来截断IR在开方后，每硅棒都量测，确定杂质、隐裂。5、截断6、磨面倒角G&N上磨面倒角的晶棒长度不得小于177mm放在倒角机上倒角的晶棒，其表面尺寸须满足156±0.3mm，如不满足须先放到G&N上磨面磨面倒角按照少子寿命测出无效长度进行截断177、晶棒粘接硅片生产工艺流程介绍此为切片前道辅助工序，将玻璃板粘到线锯专用工装上，然后再将清洗后的准方棒粘到玻璃板上

6、，固化5~6小时，等待切割。8、切片图片为切割过程示意图。钢线以13m/s的速度带着金刚砂磨削形成切割。9、预清洗去胶将切割成硅片的晶棒抬到预清洗机内，将硅片上80%~90%的砂浆用水喷淋冲洗掉待喷洗干净后，放入80度热水浸泡硅棒粘胶部分，等待胶水软化。将晶棒翻转，装在去胶工装上，抬入去胶槽，用水枪将硅片外部和内部的砂浆喷洗干净。待胶软化后，将硅片取出，放入盛有清水的盒子中，进行插片硅片生产工艺流程介绍10、清洗全自动清洗机此机台可用来清洗片盒清洗甩干：将插片好的硅片放入清洗槽内，用碱液、热水、超声清洗硅片表面，将

7、表面清洗干净后放入离心甩干机内进行甩干，硅片干燥后放入周转车内进入分选工序硅片生产工艺流程介绍11、分选硅片生产工艺流程介绍11、全自动分选全自动分选仪分档有：A类裂纹缺角隐裂电阻率超标边长偏差缺口片脏污厚度偏差少子寿命低TTVNIP硅片生产工艺流程介绍11、手工分选可以测量厚度和TTV的花岗石测量仪器手工分选检查每一片的外观有无偏差：裂纹缺角隐裂，边长偏差，缺口片，脏污。厚度监测： 一棒大约一千片，头中尾各抽15片，每片量测5个点。用刻度模板的刻度目测缺角、梯形、外形片是否存在检测标准内。硅片生产工艺流程介绍12

8、、包装QC再次对分选完的硅片进行抽检，合格后分发合格证，转入下一工序——包装—入库—电池硅片生产工艺流程介绍光伏组件太阳电池组件（SolarCellmodule）又称光伏组件PVmodule，是将多个单体太阳电池进行电气连接后，经封装形成在光照下具有一定电压、电流输出的单元。太阳电池组件是光伏发电系统中可独立应用的最小发电单元。结构要素单体太阳电池内连接和电