裂片机操作书明中文.doc

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1、2003年4月10日改版裂片机操作书明书MOTEL:OBM-90T株式会社OPTOSYSTEMCO.,LTD本社〒610-0313京都府京田边市三山木野神100'：0081-774-68-44407：0081-774-68-4444目录0安全使用设备11设备构成21-1设备的构成21-2设备的主要部分31-3操作面板42设备运转42-1设备启动42-2各轴手动操作52-3手动裂片与自动运行7（1）加工件的准备与安装7（2）加工件平行的调出8（3）受台槽宽的确定与登录9（4）手动裂片10（5）自动运行12（6）有关裂片刀下降位置13（7）有关设定1、设定2133机械

2、方面的调整143-1裂片刀的更换143-2摄像头的调整164设备操作结束165机能·设定一览表175-1操作面板175-2控制画面的构成195-3各画面内容20（1）主画面表示20（2）参数变更方法21（3）SET1（设定1）SET2（设定2）22（4）Speed1（设定1速度设定）Speed2（设定2速度设定）23（5）JOG1（设定1JOG设定）JOG2（设定2JOG设定）24（6）ACCEL1（设定1加减速设定）ACCEL2（设定2加减速设定）25（7）SET（设定）26（8）文檔操作276设备点检·维护·消耗品的更换280.安全使用设备为安全使用设备，请预

3、先了解以下的注意事项，并以此操作设备。۩请不要在用本设备加工Wafer以外的产品。۩在充分理解本设备的操作后、并对操作内容进行确认后再开始进行操作。在操作过程严禁将手伸入裂片区内。۩本设备的电器配线·电气线路组件等（电机驱动器等）禁止随意拨动、调整。۩本设备应在20°C左右的室内环境条件中使用۩请勿将液体或带有腐蚀性的气体等置于本设备上。同时，室内湿度的增大将对设备产生损害。۩切勿使设备发生重力冲击；不要将重物置于设备上面。۩关闭设备电源时请按照使用说明书中记载的顺序正确关闭电源。不正确的电源关闭方式将会造成软件损坏或资料丢失。11.设备构成1-1设备构成本设备构

4、成如下：漏电保护器脚轮控制用PC下置摄像头及传动总成操作面板下置摄像头光源控制用PC机键盘控制用PC机监视器下置摄像头用监视器指示灯塔裂片主体部21-2设备的主要部分本页图片为设备主要部分，上图为裂片动作的主要部分；下图为下置摄像头及传动总成部分。黄色箭头表示由电机驱动各轴的动作方向。裂片刀Z轴电机击锤裂片刀SUPPORTGAP平台旋转方向平台前后移动下置摄像头下置摄像头·传动总成31-3操作面板操作面板的各个按键的说明汇总在《5.机能·设定一览表》的《5-1操作面板》中，请仔细阅读该表。紧急停止按键各轴的动作方向按键各轴的动作电机按键绿：ON红：OFF蜂鸣器OR

5、G操作面板2.设备运转2-1设备启动向设备各电源部接入电源使设备呈可运转状态时，按照以下顺序操作。漏电保护器的把手推上按下操作面板上ON键按下操作面板上ORG键（ORG指示灯闪烁）当设备全体得到电源后，控制用PC自动启动PC启动稍候……控制用PC机监视器上显示出控制软件的初期画面及“DOORIGINRETURN！”的提示。操作面板的蜂鸣器连续鸣响。操作面板的ORG按键灯闪烁。设备的各驱动电机轴进行原点复归动作在原点复归动作过程中严禁将手伸入设备内部原点复归完成原点复归动作中当“RETURNTOORIGIN”表示示，原点复归动作过程中的驱动轴的名称也同时表示。操作面

6、板的蜂鸣器以一声长鸣音通知原点复归完成。操作面板上“ORG”按键灯关闭控制用PC监视器屏幕显示“óMANUALMODEó原点复归完了后可以进行各轴的手动操作。若进行自动运行时，应预先进行各参数的设定，此后方可进行自动运行。42-2各轴手动操作各轴MODE下手动操作时有效按键及机能如下各轴MODE下手动操作轴MODE移动按键动作形式Hi/LOW的变更备注SUPPORT红圈内受台整体向箭头方向移动（操作者反方向）X红圈内受台整体向箭头方向移动（操作者反方向）GAP红圈内受台的GAP向箭头方向移动。（受台合闭）X闭合后按键失效不会发生过度闭合红圈内受台的GAP向箭头方向

7、移动。（受台打开）CAMERACAMERA摄像头向设定的中心位置移动。－Hi按键即使不按下仍快速移动。摄像头向左方向移动○摄像头向右方向移动5轴MODE移动按键动作形式Hi/LOW的变更备注RING工作台向箭头方向移动（操作者反方向）○工作台向箭头方向移动（操作者方向）工作台左旋转工作台右旋转CUTTERcutter上升位置CUTTERDownAddress向待机位置下降－◎裂片刀在下降过程中严禁将手伸入裂片区内。◎各设定的ADDRESS值不得与受台发生干涉。在检查确认设定值后方可开始操作DownAddressCUTTERCutAddress位置下降CutAddr

8、essCU