多层膜反射率的计算.doc

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1、多层膜反射率的计算摘要：随着光学器件的结构不断复杂化，如何计算带有多层膜结构的透镜显得尤为重要，本文主要以菲涅尔公式为基础,用递推法推导了多层膜反射率。1.引言近年来光学薄膜得到了越来越广泛的应用，要设计具有所需特性的光学薄膜，首先必须了解光通过薄膜后的性能,薄膜的光学特性主要以其反射率和透射率表征。本文首先用菲涅尔系数得到单层膜的反射率,然后用递推法求得多层膜的反射率。2.单层膜反射率的计算如图1，假定在折射率为n2的光学基板上有一层厚度均匀的薄膜，膜折射率为n1，膜的几何厚度为d1，入射介质的折射率为n0，当光束照射到薄膜上表面时，束在

2、薄膜两表面上要多次反射，因而产生一组反射光束1、2、3、……，和一组透射光1＇、2＇、3＇、……。如果入射光的振幅为E0,则各反射光束的振幅为：这里的，，，，，，，分别表示在两个界面上的反射系数和透射系数(图2)。由斯托克斯定律可知，，。式（1）中的为膜的位相厚度,即两相邻光束间的位相差为。反射光的合振幅ER为：于是我们得到单层膜的反射系数为：从公式(3)可见，单层膜的反射系数是一个复数，故式(3)可写成：式(4)中和可通过菲涅尔公式求得。为膜的位相厚度。表示反射光波的位相落后于入射光波的值：单层膜的反射率R为：从上面的结果我们可以看出,单

3、层膜的两个界面可以用一个等效界面来代替。如图3所示，膜的折射率为，入射介质的折射率为，出射介质(或基板玻璃)的折射率为，膜的位相厚度是，设单层膜上界面的反射系数为，下界面的反射系数为，于是这个单层膜的等效界面的反射系数为，可由上述式(4)求得：3.多层膜反射率的计算经过这样处理和理解以后，我们可以将单层膜的反射率计算推广应用到多层膜场合。首先从与基片相邻的底层膜开始，将底层膜的两个界面等效成一个界面，然后再将这个等效界面与上一个界面等效为一个界面，依次往上递推到膜系的顶层的第一个界面，如图4所示。由式(7)可知：其计算过程是一个逐次迭代的过

4、程,其中各层膜的折射率为，，，…，，入射介质的折射率为，基底的折射率为，各层膜的厚度为，，，…，，入射角为。根据折射定律：，因此可以得到各层膜中光的入射和折射角，对各层膜有：(j=0,1,…，k)。根据菲涅尔公式计算出各层的菲涅尔系数，对p分量(j=0,1,…，k+1)，对s分量：(j=0,1,…，k+1)，最后求出反射率。