微机型数显复合真空计使用说明书.doc

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1、目录1、安全说明…………………………………………………………………12、技术参数…………………………………………………………………23、工作原理………………………………………………………………34、性能概述………………………………………………………………45、使用概述………………………………………………………………56、规管性能概述…………………………………………………………77、规管外形及安装………………………………………………………108、真空计与规管连线……………………………………………………129、真空计开机及显示说明………………………………………………1310、真空计

2、使用方法……………………………………………………1310.1电阻2单元使用方法………………………………………………1310.2电阻1与电离复合单元使用方法…………………………………1511、真空计去气…………………………………………………………17*12、控制功能及设定方法………………………………………………17*13、控制输出……………………………………………………………18*14、扩展功能……………………………………………………………20机箱规格………………………………………………………2215、附录规管接口………………………………………………………24常见问题………………

3、……………………………………27*号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效1、安全说明▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。′·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。·如未按本说明书操作，我们将

4、不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。该说明书使用符号说明：▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。●表示重要的附加信息和技巧或建议。炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。2、技术参数2.1电阻单元技术参数：·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω)·真空度测量范围（对干燥空气或氮气）1.0×105～2.5×103可测范围。2.5×103～5.0×10-1不大于显示值的±30%5.0×10-1～1.0×10-1可测范围。·有效控制范围2.

5、5×103～5.0×10-1Pa。2.2电离单元技术参数:·测量范围:5～1Pa可测范围1～5×10-5Pa不大于显示值的±50%5×10-5～1×10-5Pa可测范围·配用规管型号:ZJ-27电离规·规管灵敏度:0.15±15%Pa-1。·规管加速极（栅极）对地电位：225V±3%·规管阴极（灯丝）中心点对地电位：25V±5%。·收集极对地电压：0V。·发射电流：100uA±3%5～1×10-1Pa1mA±3%1×10-1～1×10-5Pa·离子流放大器示值误差：5～1×10-4Pa不大于±5%1×10-4～1×10-5Pa不大于±10%·规管除气方式：焦耳去气。·有效控制范

6、围：1Pa～5×10-5Pa2.3其它参数·控制输出模式：继电器触点通、断输出。每一组输出为一对常闭和一对常开。·控制负载：AC220V/1A（DC28V/5A）无感负载。·工作电源：AC220V±10%/50HZ。·功率：最大功率约40W。·工作环境温度：0～450C。·工作相对湿度＜85%。·机箱规格及开孔尺寸和重量参见附录。3、工作原理3.1电阻单元工作原理电阻单元采用热传导式电阻真空规（又称皮拉尼规），基于这种规通以电流的热丝温度是随真空（压力）而变化的。由于温度的改变导致热丝电阻的变化。因此用测量电阻的变化来测量真空度。3.2电离计工作原理电离单元采用热阴极电离规。基

7、于这种规在低压力（真空）下，对通过电流的电离管灯丝“加热”，使其发射电子，故称热阴极电离规；同时给电离规加速极施加直流高压，使电子在规管电极间产生的电场中被加速，去轰击气体分子使其电离，电离产生的正离子被收集极接收。离子流与气体压力p的关系：I+=KIePK为规管灵敏度，I+为离子流，Ie为发射电流，P为真空系统内压力（真空）。3.3复合真空计由电阻规管、电离规管和电子学电路组成。电阻单元电路完成电阻规热丝定温功率调节，以及随真空度变化的测量桥路电压信号的采样，放大，经模数（A/D）转换为数