洁净实验室建设标准.doc

《洁净实验室建设标准.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、......洁净实验室建设标准一、定义二、控管项目三、分类乱流式(TurbulentFlow)层流式(Laminar)复合式(MixedType)四、气流的流动气流的重要性风速的控制影响因素五、洁净室之构成六、洁净室按用途分类（可分为两大类）工业洁净室生物洁净室七、洁净室污染源知识1、发尘量2、发菌量八、洁净室标准规范国内标准规范九、行业应用十、详细参数.专业资料.......　　目录一、定义二、控管项目三、分类乱流式(TurbulentFlow)层流式(Laminar)复合式(MixedType)四、气流的

2、流动气流的重要性风速的控制影响因素五、洁净室之构成六、洁净室按用途分类（可分为两大类）工业洁净室生物洁净室七、洁净室污染源知识1、发尘量2、发菌量八、洁净室标准规范国内标准规范九、行业应用十、详细参数一、定义二、控管项目三、分类乱流式(TurbulentFlow)层流式(Laminar)复合式(MixedType)四、气流的流动气流的重要性风速的控制影响因素五、洁净室之构成六、洁净室按用途分类（可分为两大类）工业洁净室生物洁净室七、洁净室污染源知识1、发尘量2、发菌量八、洁净室标准规范国内标准规范九、行业应用

3、十、详细参数展开.专业资料.......一、定义　　洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的

4、生产上，无尘是必然的要求。　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。　　洁净室用途主要有以下三个：　　空气洁净室：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。　　静态洁净室：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正

5、在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。　　动态洁净室：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。二、控管项目　　1、能除去空气中飘游之微尘粒子。　　2、能防止微尘粒子之产生。.专业资料.......　　3、温度和湿度之控制。　　4、压力之调节。　　5、有害气体之排除。　　6、结构物与隔间之气密性。　　7、静电之防制。　　8、电磁干扰预防。　　9、安全因素之考虑。　　10、节能之考量。三、分类乱流式(TurbulentFlow)　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气

6、过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。　　定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。　　原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。　　特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）.专业资料.......　　（1）自净时间：

7、是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟)(可取15min计算)10,000级希望不超过30min(分钟)(可取25min计算)100,000级希望不超过40min(分钟)(可取30min计算)　　（2）换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级43.5—55.3次/小时(规范:50次/小时)10,000级23.8—28.6次/小时(规范:25次/小时)100,000级14.4—19.2次/小时(规范:15次/小时)　　优点：

8、构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。层流式(Laminar)　　层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之