多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究.pdf

《多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第1期中I鼋雹；舛譬q宪隍学瓤Vo1．9No．12014年2月JoumalofCAEITFeb．2014doi：10．3969／j．issn．1673—5692．2014．01．021多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究王庚林，李宁博，李飞，刘永敏(北京市科通电子继电器总厂有限公司，北京100041)摘要：密封电子元器件在长时间存放后，会存在无法检测的现象。3'-超过密封件细漏检测的最长候检时间时，应再次压氦，然后进行细检漏。按现行的各种规范的规定，压氦法和预充氦法再压氦的条件、程序和判据一般均与首次压氦相同，但分

2、析表明，这样可能会使测量漏率判据出现成倍或更大的偏差，有时会出现大漏的漏检和细漏的错判。推演出多次压氦法和预充氦压氦法的测量漏率判据公式，给出了相应的压氦条件和细检漏的最长候检时间，从而更为便捷准确地解决了长候检时间下的密封性检测问题。关键词：氦质谱细检漏；多次压氦法；预充氦压氦法；测量漏率判据；压氦时长；最长候检时间中图分类号：TB42文献标识码：A文章编号：1673-5692(2014)O1．105-06HeliumMassSpectrometricFineLeakDetectionMethodsResearchfo

3、rMulti-PressingHeliumMethodandPressingHeliumafterPrefillingHeliumMethodWANGGeng-lin，LINing—bo，LIfei，LIUYong—rain(BeijingKeytoneElectronicRelayCorporationLtd．，Beijing，100041，China)Abstract：Accordingtothespecificationsorcontract，asealedelectroniccomponentmayrequire

4、repeat—edheliummassspectrometricfine—leaktestsinproduction，deliveryandacceptanceprocess．Thefirstde—teetioncanusepressingheliummethodorprefillingheliummethod，butafterlongstorage，especiallyoverthelongestdwelltime，theleakratemaynotgetthroughdetectionunlesspressinghe

5、liumagainbe．forefine—leakdetection。Undertheexistingprovisionsofvariousnorms，theconditions，proceduresandcriteriaofthepressingheliumaregenerallythesameaswiththefirstpressureheliumforpressingheliummethodandprefillingmethod．Buttheanalysisshowsthatthismaycausetheleak—

6、ratecriterionlagerormultiplieddeviations，sometimestherewillbeamisunderstoodsestoflargeleakoranmisappliedjudg—mentoffineleak．Theformulaofmeasuredleakratecriterionforthemulti·pressingheliummethodandpressingheliumafterprefillingheliummethodarededuced．Throughresearch

7、，theconditionandthelon．gestdwelltimearegiven，whichismoreconvenientandaccuratesolutiontothelongdwelltimeofsea1．abilitydetection．Keywords：Heliummassspectrometricfine—leaktest：multi—pressingheliummethod；pressingheliumaf-terprefillingheliummethod；measuredleakratecrit

8、erion；thepressingheliumtime；thelongestdwelltime收稿Et期：2013-09-20修订日期：2013．12—14106嚼雹；珂．鼍f研宪阪．誊瓤2014年第1期式中，P引和t¨为初次压氦的压力和时问；t．为初0引言次压氦至二次压氦的时间；P为空气中氦气分气压，P啪=0．53