基于SolidWorks的单晶炉二次加料装置改进设计.pdf

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1、《装备制造技术}2014年第4期基于SolidWorks的单晶炉二次加料装置改进设计王新海。张永军。李俊涛(陕西国防工业职业技术学院，陕西西安710300)摘要：研究了单晶炉二次加料装置的原理和结构，并在此基础上使用三雏建模设计软件SolidWorks对其进行了三维设计。根据二次加料装1~zr-作原理，分析了现有装置的存在的主要问题和改进方案，以SolidWorks软件为平台，先建立了单个零件的三维模型，然后通过虚拟装配得到装配体的三维模型，并经过图形转换得到了生产实际中应用的二维工程图。通过运用三维设计软件SolidWorks，使

2、设计在改进总体外观造型的同时工作效率也明显提高，具有较高的实用价值。关键词：单晶炉；二次加料装置；SolidWorks；三维设计中图分类号：TH128文献标识码：BSolidW0rks是美国SolidWorks公司开发的三维用二次加料装置实现单晶炉的石英坩埚内盛满熔融CAD产品，是实行数字化设计的造型软件，在国际上硅料的技术。二次加料技术的具体步骤可描述为：化得到广泛的应用[1-31。同时具有开放的系统，添加各种料工序结束后，关闭设在主炉室和副炉室之间的翻插件后，可实现产品的三维建模、装配校验、运动仿板隔离阀，将硅料存于打开的副炉室

3、内，闭合副炉真、有限元分析、加工仿真、数控加工及加工工艺的室，充入保护气体，打开翻板隔离阀，硅料落入石英制定，以保证产品从设计、工程分析、工艺分析、加工坩埚内，对加入的硅料进行化料。模拟、产品制造过程中的数据的一致性，从而真正实现产品的数字化设计和制造，并大幅度提高产品的2现有二次加料装置存在的问题设计效率和质量。由于SolidWorks软件具有功能强大，易于学习，便于掌握等特点，因此迅速得以普及，单晶炉二次加料装置主要有三种类型，分别是：使得传统的机械设计转向三维设计。二次圆棒加料夹具、石英加料筒嘲和金属加料筒【91。单晶炉是直拉

4、法制备硅单晶的关键技术装备，三种不同类型的二次加料工具都存在着不同的缺所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电点，体现在：二次圆棒加料夹具只能进行棒状料的加池[4】。面对行业需求，增大单炉投料量，提升单晶炉的工，而且需要在棒状硅料上进行打孔工序，增加了操单炉产量和效率，成为了行业的发展方向。目前，作的繁琐性；石英加料筒尽管具有污染小的优点，但单晶炉二次加料装置以其结构简单、成本低、使用维是将硅料放入料筒时必须小心操作，防止其在使用护方面等优点而得到广大单晶硅生产厂商的使用。过程中因受力而破碎污染硅料等现象产生；金属加由于在长期的

5、生产应用过程中应用的单晶炉二次加料筒存在卡料和污染现象，由于硅料之间，硅料与装料装置有着不同程度的问题，为了提高二次增料装置内部的部件之间存在摩擦力，落料时，硅料容易卡置的性能，在大量生产实践及理论分析的基础上完壳，甚至硅料卡住拉杆，致使块状硅料不能实现下成了单晶炉二次加料装置的改进设计，并运用Solid—落，而且硅料在实现落料的过程中，拉杆底部锥面会Works进行了三维仿真，具有较高的实用价值。被下面熔融硅料(单晶炉内)的高温所氧化而污染硅料，从而影响拉晶工艺或硅棒质量等缺点。1二次加料原理3总体改进单晶炉二次加料技术是利用硅料固

6、液转换时石英坩埚剩余体积的变化，通过翻板隔离阀的开闭，采金属加料筒尽管存在卡料和污染现象，但其具收稿日期：2014-01-08基金项目：陕西国防工业职业技术学院2013年科研基金(编号：Gfy13-02)作者简介：王新海(1984一)，男，硕士，助教，从事精密加工与机械设计方面的研究工作。《装备制造技术}2014年第4期机反转，a越小，反转转速越快。电机每次调用PWM案，设计了基于单片机的PWM直流电机控制硬件电程序的时候，运行500个周期。程序流程分析如下：路和相应的控制软件，较好地解决了电机转动惯性首先给计数器R2、R3赋值；然

7、后把P1．1置高，P1．2对调高精度的影响。置低；然后延时Aus；为了解决直通问题，采用“死区”的解决办法，把P1．1置低，然后延时10US，再把P1．2参考文献：置高；延时Bus；同样P1．2置低，延时10US；R3减1，[1]周林．PWM控制瞬时值比较法的稳定性分析【J】．电气应用，2007(1)：45-_46．R2减1判断是否运行完。[2]赵艳．计算机控制的PWM放大器的设计[J]．衡水学院学报，2007(1)：38—39．4结束语【3】李录锋．探讨单片机应用系统抗干扰能力的措施[J]．机床与液压，2005(12)：85—86

8、．本文提出了自动调高器中电机控制系统的方DesignofDCMotorControlSysteminNCFlameCutterHeightAutomaticAdjustmentDeviceZOUAi-cheng，CAOYi-jie(G