钢中C元素EDS分析准确度的影响因素.pdf

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1、第2901卷4年第4月2期失效分析与预防April，2014Vo1．9，No．2钢中C元素EDS分析准确度的影响因素刘松(1．中航南京机电液压工程研究中心，南京211106；2．南京航空航天大学材料科学与技术学院，南京210016)[摘要]从加速电压的选择、和峰的判断及定量标准化3方面对影响EDS分析钢中C元素准确度因素进行试验研究，分析加速电压、和峰及定量标准化影响EDS分析钢中c元素准确度的原因，并对提高EDS分析钢中c元素准确度的方法进行探讨。结果表明：影响EDS分析钢中c元素准确度的原因与加速电压

2、的选择、c元素和峰现象的出现及碳污染等因素有关；采用钢的有标样定量标准化是提高EDS分析钢中C元素准确度较好方法；在钢的有标样定量标准化过程中，EDS分析的钢样品与钢标样类型、元素种类及含量越相近，c元素定量分析准确度越高。[关键词]能谱仪；标样；标准化；碳污染[中图分类号]TG115．2[文献标志码]Adoi：10．3969／j．issn．1673~214．2014．02．003[文章编号]1673~214(2014)02-007l-04AnalysisofFactorsInfluencingAccur

3、acyofEDSonCarbonElementinSteelLIUSong，(1．AVICNanjingEngineeringInstituteofAimrafiSystems，Nanjing211106，China；2．CollegeofMaterialScienceandTechnology，NanfingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Nanfing210016，China)Abstract：FactorsinfluencingEDSanalysisac

4、curacyoncarbonelementinsteelwereanalyzed，includingchoiceofacceleratingvoltage，identificationofsum—peakaswellasthequantitativestandardization．Inaddition，methodstoimproveEDSanalysisaccuracyoncarbonelementinsteelwereanalyzed．Theresultsshowthatthechoiceofacce

5、leratingvoltage，identificationofsum—peakandcarboncontaminationwerefactorsinfluencingtheaccuracyofEDSanalysisoncarbonelementinstee1．ThequantitativestandardizationwasaneffectivemethodtoincreasetheaccuracyofEDSanalysisoncarbonelementinstee1．Themoresimilartyp

6、eofsteelandcontentofchemicalelementbetweentestsampleandstandardsampleresultedinthehigheraccuracyanalysisofEDSoncarboninstee1．Keywords：energydispersivespectrometer；standardsample；standardization；carboncontamination不同光子的频率；根据Moseley关系式V：K(Z一0引言盯)(K与均为常数，z为原

7、子序数)检测出不同元素，完成定性分析。EDS定量分析原理主要是扫描电镜(SEM)与配置的附件能谱仪根据试样中A元素特征x射线的强度，与试样(EDS)联用，其主要功能是对材料进行定性定量中单位体积内的A元素的原子数(A元素的含分析。SEM—EDS仪器配置方式已经在材料、冶量)成比例。因而只要在相同条件下，测出试样金、地矿、生物、半导体工业及案例侦破等领域得中A元素特征x射线的强度，与标样中A元素到了广泛应用⋯，解决了许多科研、生产问题。特征x射线的强度，㈩；根据公式K=IA／I[A]一EDS定性分析原理主要

8、是根据特征X射线的波C／C㈩(C和C(A]分别为试样和标样中A元素粒二象性的粒子性。当特征x射线作为光子时，浓度)检测出元素含量，完成定量分析。EDS作能量E=hv(h为普朗克常数，为光子的频率)，为与SEM联用的化学成分分析设备，往往分析者通过EDS检测试样中不同光子的能量，就可得知不仅希望其能完成准确地定性分析，而且希望其[收稿日期]2013年11月28日[修订日期]2014年2月18日[作者简介]刘松(1979年一)，男