无机材料导论第四章+作业.doc

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1、第四章作业1.什么时化学气相沉，什么是物理气相沉积，他们之间的区别与联系是什么？试举例说明。2.简述油扩散泵的工作原理以及其操作规程。3.名词解释：溶胶（sol）；凝胶（gel）；PECVD；MOCVD；APCVD；LPCVD；补充前几章作业名词解释：1.LatticeParametersMillerIndices2.IntermolecularInteractionMetalBonds3.ElasticModulusPlasticDeformation4.InterstitialSolidSolutions(填隙固溶体)SubstitutionalSolidSolutions(置换固

2、溶体)5.UnitCellElasticDeformation