中华人民共国国家计量校准规范.doc

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1、中华人民共和国国家计量校准规范JJF838─XXXX半导体管特性图示仪校准仪校准规范CalibrationSpecificationforCalibratorofSemiconductorCurveTracer（征求意见稿）××××—××—××发布××××—××—××实施国家质量监督检验检疫总局发布JJF838─XXXX代替JJG838─1993半导体管特性图示仪校准仪校准规范CalibrationSpecificationofCalibratorofSemiconductorCurveTracer本规范经国

2、家质量监督检验检疫总局于××××年××月××日批准，并自××××年××月××日起实施。归口单位：全国无线电计量技术委员会主要起草单位：中国电子技术标准化研究院参加起草单位：北京市科通电子继电器总厂有限公司中国计量科学研究院西安微电子技术研究所本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释本规程主要起草人：李洁（中国电子技术标准化研究院）刘冲（中国电子技术标准化研究院）张珊（中国电子技术标准化研究院）参加起草人：曹玉峰（北京市科通继电器总厂有限公司）高英（中国计量科学研究院）饶张飞（西安微电子技术研究所）目录引言I

3、1范围12概述13计量特性13.1直流电压源13.2直流电流源13.3取样电阻13.4阶梯电压归一化变换13.5阶梯电流归一化变换23.6偏差表23.7阶梯电压表23.8阶梯电流表23.9脉冲电流表24校准条件24.1环境条件24.2校准用设备25校准项目及校准方法45.1校准项目45.2校准方法48校准结果的表述99复校时间间隔10附录A原始记录格式11附录B校准证书的内容13附录C主要项目校准结果不确定度评定示例15引言本规范按照JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》编制，JJF1001《通

4、用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑校准规范修订工作的基础性系列规范。与JJG838-1993《晶体管特性图示仪校准仪检定规程》相比，除编辑性修改外，本规范主要修订内容有：——涵盖了目前在用的所有半导体管特性图示仪校准仪的型号。——修改规范名称为半导体管特性图示仪校准仪校准规范。——重新编制了校准项目和校准方法，补充了阶梯电压表、阶梯电流表和脉冲电流表的校准方法。——补充了不确定度评定实例（见附录C）。历次版本情况：本规范是对JJG838-1993的修订。半导

5、体管特性图示仪校准仪校准规范1范围本规范适用于半导体管特性图示仪校准仪的校准。2概述半导体管特性图示仪校准仪（以下简称图示仪校准仪）是校准半导体管特性图示仪的专用校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。除设备另有规定外，一般常见信号输出端定义如下：1）比较信号：设备后面板“A”端子、“B”端子；2）校准信号：具体端口参照设备使用说明书；3）VC信号：设备前面板“C”端子、“E”端子；4）VB信号：设备前面板“B”端子、“E”端子；5）▽：回流端子。校准半导体管特性图示仪

6、校准仪时，需按要求接入对应的端子。3计量特性3.1直流电压源电压输出范围：0.01V～5000V，最大允许误差：±(0.3～3)%。3.2直流电流源电流输出范围：10nA～10A，最大允许误差：±(0.3～3)%。3.3取样电阻范围：0.005Ω~10MΩ，最大允许误差：±(0.01～1)%。3.4阶梯电压归一化变换V0电压变换范围：0.1V～20V，最大允许误差：±0.3%。3.5阶梯电流归一化变换Is电流变换范围：10μA～20A，最大允许误差：±0.3%。3.6偏差表量程范围：±(3～10)%，最大允许

7、误差：±0.5%。3.7阶梯电压表V0电压变换范围：0.01V/阶～10V/阶，最大允许误差：±(0.3～1)%。3.8阶梯电流表Is电流变换范围：0.1μA/阶～10A/阶，最大允许误差：±(0.5～1.5)%。3.9脉冲电流表电流输出范围：10A～1000A，最大允许误差：±(0.5～1.5)%。不动，可以解决1校准条件4.1环境条件4.1.1环境温度：23℃±5℃；4.1.2环境相对湿度：≤80%；4.1.3电源电压：(220±11)V；(50±1)Hz；4.1.4周围无影响仪器正常工作的干扰和机械振动

8、。4.2校准用设备4.2.1数字多用表直流电压测量范围：±(0.01V~1000V)，最大允许误差：±0.05%；直流电流测量范围：±(1mA~10A)，最大允许误差：±0.1%；电阻测量范围：0.1Ω~10MΩ，最大允许误差：±0.1%。4.2.2静电计直流电流测量范围：±(10nA~1μA)，最大允许误差：±0.3%。4.2.3数字化仪直流电压测量范围：±(0.1V~40V)，最大允许误差：±0