图像处理耦合机器视觉的芯片表面缺陷检测研究与应用.pdf

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1、第33卷第2期湖北民族学院学报(自然科学版)Vo1．33No．22015年6月JournalofHubeiUniversityforNationalities(NaturalScienceEdition)Jun．2015文章编号：1008-8423(2015)02-0210-05DOI：10．13501／j．cnki．42—1569／n．2015．06．024图像处理耦合机器视觉的芯片表面缺陷检测研究与应用李如平，徐珍玉。，吴房胜(1．安徽工商职业学院电子信息系，安徽合肥231131；2．农业物联网技术集成与应用重点实验室，安徽合肥2300

2、88)摘要：微电子工业中芯片表面外观检查需求已广泛存在，而人眼检测已愈来愈不能对应当前自动化、数字化的要求．当前已有图像处理技术应用在电子芯片外观检查上，但往往没有整套的系统，只是针对某个问题提出算法或解决方法．对此，提出了一个图像处理耦合机器视觉的芯片表面缺陷检查系统，并在软件硬件上集成实现．首先设计并搭建光源取像平台；然后基于轮廓定位芯片ROI区域，识别各种缺陷．最后，引入10卡控制传动伺服、读码器记录芯片ID、基于Socket通信完成电算统计，从而完善整个系统．对比实验结果显示：与人工检测方法相比，所提方案具备更高的效率和精度．关键词

3、：机器视觉；ROI；芯片检测；Socket；图像处理中图分类号：TP391文献标志码：AResearchandApplicationontheChipSurfaceDefectInspectionBasedO11ImageProcessingandMachineVisionLIRuping‘，XUZhenyu，WUFangsheng(1．DepartmentofElectronicInformation，AnhuiBusinessVocationalCollege，Hefei231131，China；2．KeyLaboratoryofAgr

4、icuhureIoTTechnologyIntegrationandApplication，MinistryofAgriculture，Hefoi230088，China)Abstract：Inthemicroelectronicsindustry，chipsuYfacevisualinspectionrequirementshavebeenwidelyexist，whilethetraditionalmanualinspectionmethodsareunabletocorrespondtothecurentrequire-mentsof

5、automationanddigitization．Thecurentapplicationofimageprocessingtechnologyinelectronicchipappearanceinspection，butoftendoesnothaveasetofsystem，justproposedalgorithmorsolutionstoaproblem．Therefore，thispaperproposesadefectivechipsurfaceinspectionsystembasedonimageprocessingan

6、dmachinevision，andintegratedimplementationinsoftwarehardware．Firstbuildthecam—era，lens，lightsourcesuchashardwareplatformbasedontheimageacquisitionandimageprocessing；localizationalgorithmbasedonROIchiparea，defectidentification．Finally，introducedtheIOcardcontroldriveservo，co

7、dereadingdevice，recordingchipIDbasedonSocketcommunicationtocompletethecorn—puterizationofstatistics，SOastoimprovethewholesystem．Finally，themechanismofperformancetest，theresultsshowthat：comparedwiththemanualmethod，thismechanismhashighereficiencyandpreci—sion．Keywords：machin

8、evision；ROI；chipdetection；socket；imageprocessing近年来，随着电子芯片的广泛应用，生产过程中对芯片产品表面外观缺陷检测变得越来越重要