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1、第22卷第3期中国计量学院学报Vol.22No.32011年9月JournalofChinaUniversityofMetrologySep.2011【文章编号】1004-1540(2011)03-0295-06物理学对现代表面技术的支撑作用张高会,李根,徐鹏,乔宪武,于明州(中国计量学院理学院,浙江杭州310018)【摘要】从真空技术、等离子体技术、激光技术等表面技术发展的几个方面论述了电学、磁学、光学等物理学知识在表面技术中的广泛应用以及对表面处理技术科学的巨大推动作用.指出,物理学的进步对表面技术的进步有着非常重要的支撑作用.【关键词】表面技术;
2、物理学;激光;X射线【中图分类号】TG146.2+3【文献标识码】AModernsurfacetechnologybasedonthedevelopmentofphysicsZHANGGao-hui,LIGen,XUPeng,QIAOXian-wu,YUMing-zhou(CollegeofSciences,ChinaJiliangUniversity,Hangzhou310018,China)Abstract:Thephysicshavedeeplypromotedsurfacetechnologyprogress,sowediscussedthee
3、lectrical,magnetic,opticalandotherphysicalknowledgeinthewideapplicationofsurfacetechnologyfromthevacuumtechnology,plasmatechnology,lasertechnologyandotherseveralaspectsofsurfacetechnology.Itpointsoutthatthedevelopmentofsurfacetechnologydependsontheprogressofphysicsandtheprogress
4、ofphysicswill,asalways,playadecisiveroleinsurfacetechnologicalprogressinthefuture.Keywords:surfacetechology;physics;laser;X-ray[2]物理学的发展传统上一般分为经典物理和近国际科技界誉为最具发展前途的十大技术之一代物理两个阶段,自爱因斯坦相对论开始可以认一位著名的科学家曾经说过:20世纪科学技术的为是进入了近代物理阶段.与近代物理发展几乎发展是以物理学的发展为基础的.这样的观点早同步,19世纪工业革命后现代表面技术开始迅速已被诸
5、多事实所证明,无论是高科技要求的航空发展,不仅在学术上丰富了材料科学、冶金学、机航天领域,还是与民生密切相关的医疗行业、汽车械学、电子学、化学等学科,而且促进了新材料、光行业,等等,均是如此.更不要说还有电子行业、信电子、微电子等诸多先进产业的发展,成为了国际息行业、甚至包括体育等行业.表面处理作为材料[1]性的关键技术之一.科学进步的一个分支,其显著进步也是与物理学现代材料表面处理技术在20世纪80年代被的进步密切相关,毫不夸张地讲,没有物理学的进【收稿日期】2011-04-21【作者简介】张高会(1964)男,山西省绛县人,博士.主要研究方向为钛合
6、金、镁合金的表面处理.296中国计量学院学报第22卷步就没有表面技术的进步.20世纪60年代到80胞的量子密码上.1960年迈曼发明的激光也是以年代,等离子体、电子束、激光束、微波、超音速火原子的量子结构为基础的.近几年随着光子的量焰、超高真空等科学技术的成果逐步引入到表面子纠缠理论的发展,信息科学量子计算机都有了处理技术领域,各种机械、装饰、特殊功能的薄膜质的飞跃.及各种先进涂层,已把材料表面改造成具有人们2物理学对表面处理技术进步的期望的各种功能,其应用遍及各个领域.推动作用材料表面技术包括表面处理技术和表面分析技术.表面处理技术是指通过表面处理改
7、变材料2.1真空技术表面的形态、化学成分、组织结构和应力状态,以真空,作为现代表面处理技术中的一个非常重获得所需表面性能.表面处理技术作为一门新兴要的技术条件,对材料表面处理起到了决定性的作5的边缘性学科和使用价值极高的基础技术,其应用.真空度一般可以定性地分为低真空(10~22-1-1用范围越来越广,使用价值越来越高,对材料科学10Pa)、中真空(10~10Pa)、高真空(10~[3]-5-5的进步起到了越来越多的推动作用.物理学的10Pa)、超高真空(<10Pa)(GB/T3163-93),真进步对表面处理技术的进步起到了至关重要的作空度的高低决定
8、着磁控溅射、离子溅射、电子溅射用;表面分析技术作为材料科学进步的非常重要等表面处理技术是否能够
