太阳能晶硅片切割液性能影响因素研究.pdf

《太阳能晶硅片切割液性能影响因素研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第43卷第6期广州化工Vo1．43No．62015年3月GuangzhouChemicalIndustryMar~2015太阳能晶硅片切割液性能影响因素研究陈亚丽，徐元清，阳辉，辛玲，高敏杰，宋漫漫(河南新大新材料股份有限公司，河南开封475000)摘要：以聚乙二醇和多甘醇为主要原料，添加适量助剂，利用超声振动混合，制备出一种水溶性切割液。文章主要从切割液的携砂性、酸碱性以及对电流的传输能力等方面考察了各因素对切割液性能的影响。通过正交试验优化试验条件，并通过直观分析的方法考察各因素对实验结果的影响大小。从而制备出一种环保、价廉、应

2、用高效果好的太阳能晶硅片切割液。关键词：切割液；粘度；携砂性；正交试验中图分类号：TG501．1文献标志码：B文章编号：1001—9677(2015)06—0088—04StudyonPreparatiOnandInfluenceFactorsoftheWafersCuttingFluidsforSolarCHENYa—li，XUYuan-qing，YANGHui，XINLing，GAOn-jie，SONGMan-man(HenanXindaxinMaterialsCo．，Ltd．，HenanKaifeng475000，China)

3、Abstract：Usingultrasonicvibration，thewater-solublecuttingfluidshavebeenpreparedbypolyethyleneglycolandmultiethylene—ycolasraw，andwithadditionofsomeauxiliaries．Theperformanceoffluidswasdiscussedbytheprop-carryingcapacity，pHvalueandthecurrenttransmissioncapacity．Theexper

4、imentalconditionswereoptimizedthoughorthogonalexperiment，andthesizeofanyimpactforexperimentalresuhwasinvestigatedbyvisualanalysis．Thecuttingfluidsofgreen，cheap，goodapplicationresultswereprepared．Keywords：cuttingfluids；viscosity；prop—carryingcapacity；orthogonaltest我国幅员辽

5、阔，太阳能资源丰富，对太阳能的利用也越来(工业级)，国药集团化学试剂有限公司；二苯胺(分析纯)，上越多，其主要用于光伏发电产业，随着光伏发电产业的发海晶纯生化科技有限公司；苯并三氮唑(分析纯)，天津市风船展，硅片的使用量剧增，据统计，全球约80％的太阳能电池都化学试剂科技有限公司；2，6-二叔戊基苯酚(分析纯)，上海晶要使用硅片，多线切割以其高效率、高质量、低损耗等巨大优纯生化科技有限公司；磷酸三丁酯(分析纯)，国药集团化学试势而成为目前最常用的硅片切割方法之一，而切割液是影响硅剂有限公司；植酸(分析纯)，成都西亚化工股份有限公司；

6、柠片切割质量和效率的关键因素之一。檬酸(分析纯)，天津市德思化学试剂有限公司；三乙醇胺(分晶硅片切割液是以聚乙二醇为主体，添加多种助剂复配而析纯)，国药集团化学试剂有限公司。成，具有适宜的粘度指标，有良好的流动性和热传导性，对碳旋转粘度计(NDJ一5S型)，上海昌吉地质仪有限公司；pH化硅微粉具有良好的分散稳定性和悬浮作用，是目前市场上的计(PB一1O型)，赛多利斯科学仪器有限公司；电导率仪(DDS一主导切割液。研究表明，用普通的切割液难以达到切割要11A型)，上海雷磁创益仪器仪表有限公司。求J，润滑渗透良好、磨粒分散均匀、较好的电

7、导率和pH值等1．2样品制备和性能测试特性的切割液能够有效降低硅片表面损伤应力、减小损伤层和1．2．1样品制备提高加工精度和质量。目前，线切割液主要有油性、水性和将聚乙二醇、多甘醇及适量助剂混合，超声分散均匀，而水乳型3种，水性切割液环保、廉价，是发展的主流方向。后测试其切割液的性能指标。实验中各原料用量的质量百分含而市售切割液存在价格昂贵，电导率较高，酸性大以及难以清量分别为：多甘醇45％一70％，聚乙二醇25％一50％，助剂洗等缺陷川，其中电导率较高时，切割液的离子成分较高，使5％一l0％。得晶硅片表面产生电流较大，影响切割质量

8、，而pH值较低时，1．2．2性能测试切割液会腐蚀切割机，降低切割机的使用寿命。本实验以聚乙电导率：25℃下，利用DDS一11A型电导率仪测试切割液二醇和多甘醇为主要原料，添加适量助剂，制备出一种水性切电导率。割液，并通过正交试验方法优