欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:55589367
大小:26.00 KB
页数:1页
时间:2020-05-19
《内容简介有制作微米纳米器件及结构的各种技术及其物.doc》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、内容简介:有关制作微米/纳米器件及结构的各种技术及其物理原理,包括抗蚀性原理,光学光刻,离子束、电子束、X射线的形成及其与物质的相互作用的物理过程,干法及蚀法刻蚀原理。
此文档下载收益归作者所有