MEMS惯导中国市场调研.doc

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1、MEMS惯导中国市场调研MEMS惯导技术：MEMS惯性传感器是采用MEMS技术研制的加速度计和陀螺，体积小、成本低，可靠性高，对国防具有重大战略意义。基于MEMS惯性器件构建低成本、高性能的微型惯性导航系统（MEMSINS）正在成为当前惯性技术领域的一个研究热点。1.目前的最高精度目前资料可见MEMS陀螺最高精度0.1度/小时（美国Draper实验室MEMS陀螺最高精度0.1度/小时，瑞典Imego研究所MEMS陀螺精度最高精度0.2度/小时）。据目前预测，MEMS陀螺性能极限约在0.01度/小时。从需求看，10度/小时到0.01度/小时

2、的陀螺将可以满足军民用领域的大部分应用性能要求。MEMS惯性器件的研制难点是MEMS陀螺，MEMS加速度计技术相对较成熟，目前可见的最高精度有ug量级。2.目前的主流精度鉴于MEMS惯性器件的广泛应用市场和大众应用场合的可接受价格因素，目前主流精度从几度每秒到0.01度每秒之间。MEMS加速度计的精度在几十mg到几十ug之间。3.目前的发展目前引领MEMS惯导技术发展的主要是美国、日本及欧洲。以美国为首，发展MEMS惯导技术有近二十年历史，从MEMS器件到MEMS系统发展技术成熟，有大批惯性技术领域的著名研究机构参与其中，如Draper、

3、JPL、Litton、Honeywell、BEI、ADI等。国内以清华大学为代表的一批MEMS惯性器件研制机构，MEMS陀螺实验室最高精度达10度/小时。但是，目前国内还没有一个成熟的MEMS惯性器件的生产商，市场上没有一款成熟的国内研制的MEMS惯性器件产品。世界主要MEMS惯性器件生产厂商美国：TI、ADI、Freescale、Kionix、Akustica、KnowlesAcoustics。日本：DENSO、Omron、MATSUSHITA、Oki。欧洲：Bosch、VTI、SonionMEMS、HLPLANAR。1.中国市场情况中

4、国无MEMS惯性器件产品的生产厂商，主要以代理国外产品为主。无锡的美新半导体主要生产的是MEMS加速度计产品。国内目前在MEMS陀螺仪方面还没有成熟的产品可以应用。航天704所和13所所属的单位，现在正在加紧研制，密切关注中！2.价格因产品精度指标而异，MEMS惯性器件的价格差别很大，以MEMS陀螺为例，高精度的MEMS单轴陀螺价格在2～3万，低精度价格则只有几百元、几十元。所以需要因应用场合的不同，综合考虑性能及价格因素进行选型。