老炼对集成电路静态电源电流的影响.pdf

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1、第3期微处理机No．32015年6月MICR0PROCESSORSJun．，2015老炼对集成电路静态电源电流的影响于祥苓，王安帮(中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032)摘要：为使用户得到更可靠的集成电路产品，老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法，通过研究正常CMOS器件和有工艺缺陷的CMOS器件的静态电源电流随老炼时间的变化曲线，经在老炼过程中多次不同时间测试得出的实验数据，可以清楚地发现器件的早期失效情况。经过分析后可以很好地反馈到器件的生产加工过程中，为集成电路的设计、加工和生产提供良好的数据依据，使

2、集成电路加工工艺不断改善和元器件品质不断改进。指出了老炼在集成电路生产过程中的指导作用，是提高集成电路可靠性的有效手段。关键词：老炼；可靠性筛选试验；静态电源电流；早期失效；加工工艺；可靠性DOI编码：10．3969／j．issn．1002—2279．2015．03．003中图分类号：TN4文献标识码：B文章编号：1002—2279(2015)03—0007—02Burn—inEffectsonDirectDrainQuiescentPowerCurrentoftheInteqratedCircuitYuXiangling，WangAnbang(The47thResea

3、rch，￡eofChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation，Shenyang110032，China)Abstract：InordertoprovidethereliableICproductsforusers，theburn—inisthemostcommonandeffectivemethodofreliabilityscreeningtest．Thepaperdescribesthemeaningandmethodsofburn—inforintegratedcircuit．Bystudyingthecurvechangi

4、ngwiththedirectdrainquiescentpowercurrentofthenormalCOMSdevicesandabnormalonesandthetestdataindifferenttimesduringburn—intest．theearlyfailureofthedevicecanbeclearlyfound．Afteranalysisofthedevices，itcanbefedbacktotheproductionprocesstoprovidegooddatabasisfortheICdesign，processingandproduc

5、tionandimprovestheprocessingoftheintegratedcircuitandthequalityofcomponents．Theburn—inispresentedtoguidetheICproductionprocessandcomesintoaneffectivemeanstoimprovereliabilityofintegratedcircuit．Keywords：Burn—in；Reliabilityscreeningtest；Directdrainquiescentpowercurrent；Earlyfailure；Proces

6、singtechnic；Reliability1引言2老炼试验方法老炼是IC生产中常用来剔除早期失效产品，提老炼，又称老化，是目前最常用和最有效的一种高系统可靠性的方法。这些产品本身具有固有的缺可靠性筛选试验方法，为集成电路生产厂以及使用陷或者其缺陷产生于制造工艺的控制不当，这些缺陷者广泛应用。老炼筛选对器件施加了两种以上的应会造成与时间和应力有关的失效。如不进行老炼，这力(温度应力和电压或电流等电应力)，通过电和热些有缺陷的器件在使用条件下会出现初期致命失效应力的综合作用可以更充分地激活器件内潜在的材或早期寿命失效。为了保证提交到用户手中的产品料和工艺的大部分缺陷，诱

7、发器件发生相关的失效，质量，生产厂商会在产品包装出厂前对元器件进行老所以又叫功率老炼。集成电路产品筛选老炼的基本炼，即在一定时间内对元器件施加一定的应力，如电试验方法见GJB548A一1996(微电子器件试验方法流、电压、温度等，且通常高于其正常使用应力，从而和程序》的方法1015A。老炼筛选需要对电路施加剔除一些有缺陷的产品，保证出厂产品的质量。最大额定工作条件或以上的应力，或施加相等的或作者简介：于祥苓(1976一)，女，辽宁省葫芦岛市人，高级工程师，主研方向：集成电路检测技术研究。收稿日期：2015—03—13·8·微处理机更高灵敏