石英晶体称重原理.doc

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1、中国运载火箭技术研究院第七○二研究所刘九卿【摘要】本文介绍了以石英晶体为敏感元件的压电石英称重传感器的工作原理、结构与特点；石英晶体的压电效应，压电石英晶体片的并联、串联连接方法，电荷电压计算；石英晶体片的装配要求和装配工艺；石英晶体敏感元件与电阻应变计的性能比较。分析了利用多个石英晶体敏感元件组装的工字梁型动态称重传感器的结构与技术特点及其在动态公路车辆称重系统中的应用。【关键词】石英晶体压电效应称重传感器电荷放大器动态称重轴重秤一、概述尽管早在1908年Pierre（皮埃尔）和JacguseCurie（雅克卡里）就发现了石英晶体的压电效应，

2、但是用于动态力的测量还是20世纪60年代。当时由苏黎世的瑞士联邦技术研究所研制出压电石英测力传感器，并利用它制成风洞天平，对空气动力进行测量。瑞士联邦工学院和德国Aachen大学分别利用石英晶体研制出刚性非常好的三分量测力传感器，用来测量机床的切削力。20世纪70年代扩展了压电石英三分量测力系统，用来测量六个分量和计算力作用点的座标；军事工程部门用于测量火箭推力向量（力的大小、方向和位置）；汽车工业部门用于测量轮胎的附着力；生物力学领域用于运动矫形术、整形和姿态控制。20世纪80年代在汽车制造业中压电石英测力传感器用于测量汽车点火压力，汽车碰撞

3、的冲击力。利用二分量测力传感器同时测量汽车检测平台的垂直力和水平力，将压电石英测力传感器埋在路面下，测量汽车轮胎与路面之间的接触力。20世纪90年代公路车辆轴载超限越来越严重，已成为世界难题。在公路车辆轴载超载预判，桥梁超载报警和轴载动态称重计量中，迫切需要体积小、高度低、重量轻，刚度大，固有频率高，动态范围广，灵敏度高的动态称重传感器和动态公路车辆称重系统。压电石英晶体敏感元件及其组装的压电石英称重传感器就具备上述特点。瑞士Kistler（奇石乐）公司开发出可以埋在路面下的以石英晶体为敏感元件的工字梁型动态称重传感器，用于公路车辆轴载超载预判

4、，桥梁超载报警，隧道保护和车辆轴载计量，取得了很好的应用效果。这种压电石英称重传感器已在美国、英国、德国、澳大利亚、韩国、日本等许多国家广泛应用。1993年7月在苏黎世的瑞士联邦技术研究所，根据欧洲研究项目“COTS323道路动态称重”的要求，对压电石英称重传感器与另外8个商用称重传感器进行了道路比较试验。试验使用数字式示波器显示重量信号、并将其储存在软盘上，然后将数据用计算机进行离线分析。除了车辆的轴重和毛重外，车速、轴距、轮距和单双轮胎等均可确定。在20～50km/h速度下，动态称量结果与动态校准结果非常吻合，证明压电石英称重传感器完全可以

5、用于公路车辆轴重计量。二、石英晶体的压电效应石英晶体（QuartzCrystal）是二氧化硅无水化合物，分子式为Si02，是各向异性的材料，通常用直角坐标轴来表征它的方向性。典型的石英晶体外形和直角坐标轴如图1所示。Z轴是石英晶体的对称轴，在垂直于Z轴的平面上，通过相对两棱的直线叫X轴，由于石英晶体呈六角棱形，因此有三个X轴。与X轴和Z轴都垂直的是Y轴。X轴称为电轴，Y轴称为中性轴（或机械轴）Z轴称为光轴。通常所说的X（或Y）切割，就是切割出来的石英晶体片的两个平面都与X（或Y）轴相垂直。X切割的石英晶体片如图2所示。图1石英晶体当石英晶体片沿

6、X轴方向受一外力作用时，内部产生极化，在垂直于X轴的两个平面上产生等量的正负电荷，这种现象称为纵向压电效应。而在垂直于Y轴的平面上，沿着Y轴的方向施加外力时，在与X轴垂直的平面上产生电荷，这种现象称为横向压电效应。在Y切割（剪切型切割）石英晶体片中，当在垂直于Y轴的平面内，沿X轴方向受外力作用时，在受力表面产生电荷，这种现象称为剪切效应。石英晶体的压电效应是由于在外力作用下石英晶体内的硅原子和氧原子的位置产生相对变形，正电荷和负电荷的重心互相移位所至，产生的电荷由覆盖在石英晶体表面的电极板进行收集、传输。力值的计量就是直接利用这三个压电效应，制

7、成单分量或多分量测力与称重传感器。图2X切割的石英晶体片三、压电石英称重传感器的工作原理压电石英称重传感器是利用石英晶体的纵向压电效应将重量信号转换成电信号的装置。现以一个X切割的石英晶体圆片为例，计算它的电荷、电压。石英晶体圆片如图3所示。设石英晶体圆片直径为d，厚度为t。当石英晶体圆片沿X轴方向受外力Fx作用时，在垂直于Fx的平面上产生电荷，而且其外力与产生的电荷存在线性关系。图3石英晶体圆片受力图（C）式中：Qx—石英晶体圆片垂直于Fx平面产生的电荷d11—石英晶体的纵向压电模数，d11=2.31PC/N两个表面之间的电压Ux为：Ux=Q

8、x/Cx=d11Fx/Cx（V）式中：Cx—石英晶体圆片的电容量Cx=επd2/4t（F）ε—石英晶体的介电系数。IP:保密-将X切割的石英晶体片加工