朗兆---泡生法LED蓝宝石长晶炉.pdf

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1、LZ80蓝宝石单晶炉介绍上海朗兆机电设备有限公司©Allrightsreserved目录公司背景介绍LZ80炉子的特点LZ80炉子技术参数各级别掏棒方案LZ80炉子的能耗指标LZ80炉子耗品特点售后服务和交货周期公司背景介绍：n上海朗兆机电设备有限公司是一家低碳节能装备制造企业，公司主要从事改良泡生法(KY)蓝宝石单晶炉设计、制造；同时掌握了蓝宝石炉的钨钼热场设计制造、蓝宝石晶体生长工艺等多项技术。n公司注册地：上海公司背景介绍：公司位于上海松江具备年产200台KY法蓝宝石炉子厂房和成熟的研发、生产、管

2、理团队4上海朗兆的主要产品：n蓝宝石单晶炉系列：LZ80-35A（装料量30-35KG）LZ80-70A（装料量60-70KG）LZ80-90A（装料量80-90KG）LZ80-120A（装料量110-120KG）大尺寸蓝宝石晶体生长技术发展上海朗兆单晶炉的特点n朗兆LZ80系列蓝宝石单晶炉,是基于改良泡生法SAPMAC单晶炉，具有下列优点：上海朗兆单晶炉的特点1n自动化程度高，操作简便，对人员依赖性小1.生长过程，除了引晶以外，其他工序是全自动控制2.采用友好的人机界面，生长过程中的温度、水流、晶重等

3、各项参数一目了然，便于用户操作3.采用温度和重力双闭环控制，自动控制长晶速率，和炉内温度，对各类故障进行报警，处理4.采用美国先进的生长工艺，有效的减少了晶体生长过程中的气泡，云纹等缺陷5.多项国家专利，设计先进，安全可靠上海朗兆单晶炉的特点2n先进的设计，掏棒率高，后期营运成本低廉1.热场采用最先进的俄罗斯技术；温场稳定、可靠，使用寿命长，后期耗品成本低廉2.优化的坩埚尺寸，晶体在掏棒过程中利用率高，便于生产大尺寸晶棒3.采用IGBT高频电源，电源精度高，效率高，功率因数高达0.92，节能环保4.热场

4、中引入经特别处理的保温材料氧化锆，不影响晶体性能的前提下，相应降低能耗，增加了安全性能。上海朗兆单晶炉的特点3晶体成本构成热场消耗电力消耗氧化铝材料籽晶设备折旧其他电力消耗>20%上海朗兆LZ80系列单晶炉LZ80系列蓝宝石炉参数1：LZ80-35ALZ80-70ALZ80-90ALZ80-120A炉室直径mmΦ680Φ680Φ800Φ800炉室高度mm88099010601060炉室内层材料316L316L316L316L实际装料量KG30-3560-7080-90110-120冷却方式水冷循环水消耗

5、m3/h7121517进水温度25252525最高耐温2200真空度Pa极限真空10-5Pa，工作状态10-3PaLZ80系列蓝宝石炉参数2：LZ80-35ALZ80-70ALZ80-90ALZ80-120A坩埚直径mmΦ250Φ330Φ350Φ380坩埚高度mm370450495525电源功率KW70/高频100/高频100/高频140/高频输出电压V12121214功率因数0.920.920.920.92电源精度0.05%0.05%0.05%0.05%控制方式PLC，触摸屏，功率控制、温度控制称重方

6、式双称重结构总水路检测压力/流量/温度晶升快速:75mm/min，慢速:0.06－20mm/h晶转1－20r/min70KG掏棒方案外径330X450高的坩埚，大尺寸晶棒的掏棒方案坩埚高度450的意义：能同时掏6支4寸棒能掏2支6寸棒，能掏6支4寸棒，2支2寸棒90KG掏棒方案外径350X495高的坩埚，大尺寸晶棒的掏棒方案坩埚高度495的意义：掏6支4寸棒同时，掏3支2寸棒能掏6支4寸棒，能掏2支6寸棒，3支2寸棒4支2寸棒各个级别掏棒率比较30KG级别65KG级别85KG级别120KG级理论掏棒率比

7、较2英寸棒12002800400045004英寸棒10001000+400（2寸）6英寸棒420+650（2寸）实际掏棒率=理论掏棒率*（0.5-0.7）朗兆蓝宝石炉，坩埚尺寸最适合生产大尺寸晶棒LZ80系列蓝宝石炉能耗指标LZ80-35ALZ80-70ALZ80-90ALZ80-120A生长工艺10162025周期（天）单炉能耗9500210002900043000（KW)晶体生长工艺周期取决于每个客户实际的长晶工艺LZ80系列蓝宝石耗品特点n在兼顾热场寿命，能耗，晶体质量，引晶的便易性同时，采用了优

8、化热场方案，极大的降低了生产过程中的耗品成本n合理的坩埚尺寸，最适合生产大尺寸晶棒，经济效益良好n分体的热屏设计，便于维护，减少营运成本，保证了热场本身的长寿命消耗品：序号耗品名称使用寿命（年）备注1钨坩埚22加热器0.53隔热屏1-2可分开更换4上保温屏0.55其他3生产周期和售后服务n晶体设备以及相关配套系统的调试、试生产工作；n蓝宝石晶体生长工艺、操作规程等相关资料；n相关人员的培训，半年左右使其能够独立完成蓝宝石晶体生长工作；n毛坯