洁净室施工及验收规范

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1、蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆

2、芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄

3、薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀

4、螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂

5、肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅

6、节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆

7、蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆袃膆肇莆蚆肂肆蒈羂羈肅薀螄袄肄蚃薇膂肃莂螃肈膃蒅薆羄膂薇螁袀膁芇薄螆膀葿蝿膅腿薁蚂肁膈蚄袈羇膇莃蚀袃膇蒆袆蝿芆薈虿肇芅芈袄羃芄莀蚇衿芃薂袃袅节蚄螅膄芁莄薈肀芁蒆螄羆芀蕿薆袂荿芈螂螈莈莁薅肇莇蒃螀肃莆蚅薃罿莆莅袈袅莅蒇蚁膃莄薀袇聿莃蚂蚀羅蒂莂袅袁聿蒄蚈螇肈薆

8、袃膆肇莆蚆