氢气在微电子封装中的安全使用知识.doc

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1、氢气在微电子封装中的安全使用知识前言：随着微电子工艺的发展，氢氮气铜线键合（Copperwirebonding）、氢氮气贴片（SMT）、氩氢气等离子体清洗（Plasmacleaning）等在微电子封装中的应用越来越广泛。氢气在各工序工艺中的作用各不相同，有的参与反应发生了化学变化，有的未参与反应，总的来说给安全生产带来了一定的隐患。氢是最活泼的元素，氢气极易与氧气发生化学反应，生成水，着火温度为571℃，因而是最易燃易爆的气体，被人们视为最可怕的气体。但只要我们掌握氢气与氧气化学反应的特点，掌握燃烧和爆炸的规律，并在操作中严格遵

2、循氢气反应的规律性，就能充分利用氢气的优点，避免其不利因素。化学品安全技术说明书（MSDS）：氢氮混合气、氩氢混合气均未有专门的MSDS，一般安全管理做法是以氢气、氮气、氩气的MSDS来要求。　　　氢气――MSDS：第一部分：化学品名称   化学品中文名称： 氢；氢气 化学品英文名称： Hydrogen CAS No.： 133-74-0 分子式： H2 分子量： 2.01 第二部分：成分/组成信息             化学品名称：氢；氢气  第三部分：危险性概述  紧急情况综述氢气存储在高压气瓶内，是一种无色、无嗅、易燃的

3、压缩气体。当空气中氢含量>4%时，随时都可能发生火灾或爆炸。它比空气轻且火焰无颜色。在可燃范围内的高浓度的氢气会导致窒息。不要进入这样的区域。潜在健康影响吸入：窒息剂。窒息之前会有感觉。当空气中氢的含量超过其燃烧下限时，则它是一个既缺氧又易爆炸的混合气。暴露在含氢气中等的空气中会引起眩晕、恶心、失去知觉。若人处于含有8－10％或更少的氧含量的空气中，将会无任何先兆地失去知觉，失去自我救护的能力。缺氧会引起严重的伤害或死亡。眼睛接触：无皮肤接触：无慢性影响：无其他过分暴露的影响：无致癌性：未被NTP、OSHA及IARC列为致癌物第

4、11页共11页第四部分：急救措施吸入：人员若缺氧，必须将其移到空气清新处，若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困难，则吸氧，并迅速进行医务处理。皮肤接触：不适用眼睛接触：不适用摄入：无医生须知：无第五部分：消防措施    形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。氢气是已知的最轻气体，能使空气或其它气体密封良好的系统，可能会使氢气泄漏。在室内使用和储存时，漏气上升滞留建筑物的顶部，遇火星会引起爆炸。与氟、氯等能发生剧烈的化学反应。有害燃烧产物： 灭火方法及灭火剂： 切断气源。若不能立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水

5、冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水、二氧化碳。 消防员的个体防护：  禁止使用的灭火剂：  闪点(℃)： <-50 自燃温度(℃)： 400 爆炸下限[%(V/V)]： 4.1 爆炸上限[%(V/V)]： 74.1 第六部分：泄漏应急处理    应急处理： 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，切断火源。建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿一般消防防护服。切断气源，抽排(室内)或强力通风(室外)。如有可能，将漏出气用排风机送至空旷地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的

6、气体。 第七部分：操作处置与储存   操作注意事项： 不要在连好之前打开钢瓶阀。否则会自燃。氢气是已知的最轻的气体，不需要排空就会聚集在建筑物的顶部。能使空气或其他气体密封良好的系统，可能会使氢气泄漏。用测漏液检测系统的泄漏，千万不要用明火测漏。储存注意事项：储存区内应有“禁止吸烟和使用明火”的警示牌。储存区域内不应有火源。氢气的储存或使用区域内，所有电器必须有防爆设施。第八部分：接触控制/个体防护    工程控制： 密闭操作。提供良好的自然通风条件。呼吸系统防护： 高浓度环境中，佩带供气式呼吸器或自给式呼吸器。 眼睛防护： 一

7、般不需特殊防护。 身体防护： 穿工作服。 手防护： 一般不需特殊防护。第11页共11页其他防护： 工作现场严禁吸烟。避免高浓度吸入。进入罐或其它高浓度区作业，须有人监护。第九部分：理化特性    外观与性状： 无色无臭气体。熔点(℃)： -259．2 沸点(℃)： -252．8相对蒸气密度(空气=1)： 0．07 饱和蒸气压(kPa)： 13．33／-257．9℃燃烧热(kJ/mol)： 241.0临界温度(℃)： -240 临界压力(MPa)： 1.30闪点(℃)： <-50引燃温度(℃)： 400 爆炸上限%(V/V)： 7

8、4.1 爆炸下限%(V/V)： 4.1溶解性： 不溶于水，不溶于乙醇、乙醚。 主要用途： 用于合成氨和甲醇等，石油精制，有机物氢化及作火箭燃料。第十部分：稳定性和反应活性   稳定性： 在常温常压下稳定 禁配物： 强氧化剂、卤素。 避免接触的条件： 光照。聚合危