2019年度山东重点研发计划.doc

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1、2019年度山东省重点研发计划（重大科技创新工程第二批）项目申报指南一、高端自主芯片针对我省芯片产业存在的产业基础薄弱、持续创新能力不强、产品大量依赖进口等问题，2019年芯片领域围绕芯片材料制备、设计与封装测试、功能芯片研发和量子技术等四个研究方向，集中优势力量突破制约产业创新发展的重大技术瓶颈，支撑我省芯片产业加速发展。（一）芯片材料制备开展宽禁带半导体单晶衬底和外延材料研究，突破生长、掺杂、缺陷控制和光电性能调控以及超精密加工等关键技术，研究单晶金刚石、氮化铝、氧化镓、大尺寸碳化硅等材料的批量生产技术，产品指标达到国际先进水平，实现在典型器件的应用。开展

2、量子阱外延材料生长技术研究，制备砷化镓基量子阱外延材料，并完成芯片流片，实现红外探测器件应用；开展高分辨率光刻胶及配套化学品研究，形成可量产的产品，实现规模化应用。（二）设计与封装测试开展大规模集成电路、功率器件、射频器件及智能传感器等芯片的设计研究，研制15一批具有广泛市场应用价值和知识产权的高端/特色芯片产品，并形成产业化能力；开展满足工业加工应用需求的高功率、高效率的半导体芯片及模块核心技术研究，满足相关行业标准要求并形成示范应用；研制具备大激光功率、高电光转换效率和模组输出功率的单芯片，并具备产业化能力。开展系统级封装（SiP）、射频/微波芯片封装、M

3、EMS传感器封装、TSV封装等技术研究，形成具备代表性的集成化、系统化、智能化封装产品，并实现批量生产。（三）功能芯片研发突破大功率开关器件（IGBT）、模数数模转换器件（ADC/DAC）、电源管理器、大功率射频模块/芯片核心关键技术，形成在典型装置中的国产化替代方案，取得应用示范；研发拥有自主知识产权的集成电路设计IP核，突破集成电路设计公司对国际大型IP公司的依赖，并形成在芯片设计业的应用。（四）量子技术重点围绕频率转换与光量子探测器、中远红外超灵敏探测与成像、量子通信光学集成芯片和基于铌酸锂薄膜的量子信息处理集成芯片等方向开展研究，实现具有完全自主知识产

4、权的近红外波段上转换单光子相机研制，制备频率转换铌酸锂光学集成芯片，完成单个器件封装及测试，实现光源制备、频率转换、灵敏探测等模块的优化和整合，研发高品质、多功能的量子信息处理集成芯片。二、高端装备15针对高端不足、低端过剩、结构不优等制约我省高端装备制造业发展的短板和结构性矛盾，2019年重点围绕先进轨道交通、智能制造、智能机器人、输变电、航空航天装备、环保装备、精密科学仪器等七个研究方向，巩固轨道交通装备技术优势，补足航空航天、智能制造等关键装备技术创新不足的短板，培育精密仪器等产业发展新增长极，推动高端装备制造业由大变强、高质量发展。（一）先进轨道交通技

5、术与装备1.先进轨道交通车辆关键技术与装备。开展高速动车组、高速磁悬浮列车、重载电力机车和其它新型轨道车辆整车系统及关键部件设计制造、检测试验、运行控制等关键技术研究、装备研制与系统开发，形成满足恶劣气候、环境和广域应用的谱系化整车系统研发制造能力。研发具有自主知识产权的新型轨道交通信号控制系统、新型列车供电系统、智能综合监控与运营管理系统，并开展应用示范。2.先进轨道交通建设维护关键技术与装备。研究轨道交通隧道地质超前感知与预报，施工装备集群作业状态感知、信息融合与智能调度，线路、桥梁、隧道检测与大数据分析，智能维护与作业等关键技术，研制智能化检测、维护、综

6、合作业等关键装备与系统，开展应用验证。研制超大、异型断面隧道智能一体化掘进机等先进轨道交通建设装备，并实现产业化。（二）智能制造技术与装备151.高档数控机床。研究多轴、多通道、高精度高档数控系统、伺服电机等主要功能部件及关键应用软件，开发精密、高速、高效、柔性的高档数控机床、基础制造装备及集成制造系统。研究数控机床感知与数据采集、动态误差建模与精度补偿、故障信息采集/管理/分析与预测性维护、加工误差自动测量与智能补偿等智能化核心技术等，推动我省智能制造装备技术的进步和提升。2.智能成套装备。面向机械制造、矿山、工程、石油化工、纺织印染、生物医药等典型行业对自

7、动化、智能化成套装备需求，开展成套技术装备及其自动化、智能化核心技术研发，在典型行业实现示范应用。3.激光与增材制造装备。研发非金属及金属增材制造技术及装备，突破大功率激光器、高品质电子枪、超细钛合金粉末等增材制造关键部件和材料。突破复杂构件表面高能束精细加工工艺与装备、高性能增减材复合制造装备、复杂曲线切割焊接装备、陶瓷及其复合材料增材制造关键技术，实现新型高效加工技术工艺装备的产业化应用。4.网络协同制造。15开展制造系统工业互联、工业数据边缘计算、制造业大数据分析、企业数据空间构建、大型制造企业供应链协同等关键技术研究，开发大数据驱动的智能制造执行系统；

8、开发智能高端定制管控系统，提供复杂产品